| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪 论 | 第8-21页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·DLC膜的材料体系 | 第8页 |
| ·DLC膜的制备方法 | 第8-13页 |
| ·PVD法 | 第9-11页 |
| ·CVD法 | 第11-12页 |
| ·各种制备方法对DLC膜结构和性能的影响 | 第12-13页 |
| ·DLC膜的测试与表征 | 第13-15页 |
| ·拉曼(Raman)光谱分析 | 第13-14页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第14页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第14页 |
| ·纳米压痕方法 | 第14-15页 |
| ·划痕试验法 | 第15页 |
| ·DLC膜的性能 | 第15-17页 |
| ·力学性能和摩擦学性能 | 第15-16页 |
| ·电学和光学性能 | 第16-17页 |
| ·计算机数值模拟在DLC膜中的应用 | 第17页 |
| ·DLC膜的应用 | 第17-19页 |
| ·机械领域 | 第17-18页 |
| ·光学领域 | 第18页 |
| ·微电子领域 | 第18页 |
| ·医学领域 | 第18-19页 |
| ·其他领域 | 第19页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第19-20页 |
| ·本课题主要的研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 实验分析方法及ANSYS有限元分析算法 | 第21-31页 |
| ·Ti-DLC膜的制备和分析测试方法 | 第21-22页 |
| ·Ti-DLC膜的制备方法 | 第21-22页 |
| ·分析测试方法 | 第22页 |
| ·ANSYS有限元分析算法 | 第22-31页 |
| ·ANSYS弹塑性分析 | 第22-26页 |
| ·ANSYS接触分析 | 第26-31页 |
| 第3章 Ti-DLC膜的制备与性能测试 | 第31-41页 |
| ·Ti-DLC膜的形貌与成分 | 第31-33页 |
| ·Ti-DLC膜的形貌 | 第31-32页 |
| ·Ti-DLC膜的成分 | 第32-33页 |
| ·Ti-DLC膜的力学性能 | 第33-40页 |
| ·Ti-DLC膜纳米压痕测试 | 第33-35页 |
| ·Ti-DLC膜纳米划痕测试 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 Ti-DLC膜纳米压头压入及划痕过程的数值模拟 | 第41-52页 |
| ·Ti-DLC膜纳米压头压入过程的有限元数值模拟 | 第41-48页 |
| ·纳米压痕有限元模型 | 第41-42页 |
| ·弹性膜纳米压头压入过程的数值模拟 | 第42-44页 |
| ·塑性膜纳米压头压入过程的数值模拟 | 第44-48页 |
| ·Ti-DLC膜纳米划痕过程的有限元数值模拟 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第59页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第59页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |