| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 前言 | 第12-13页 |
| 1.2 金刚石的分类与晶体结构 | 第13-14页 |
| 1.3 金刚石的性质及应用 | 第14-21页 |
| 1.4 单晶金刚石的制备方法 | 第21-24页 |
| 1.4.1 高温高压法 | 第21-22页 |
| 1.4.2 热丝法 | 第22页 |
| 1.4.3 直流等离子体化学气相沉积 | 第22-23页 |
| 1.4.4 燃烧火焰化学气相沉积 | 第23页 |
| 1.4.5 微波等离子化学气相沉积法 | 第23-24页 |
| 1.5 单晶金刚石生长过程中的二维扩大研究现状 | 第24-28页 |
| 1.6 选题的主要意义及研究内容 | 第28-29页 |
| 第2章 实验装置与表征方法 | 第29-37页 |
| 2.1 MPCVD装置 | 第29-32页 |
| 2.1.1 微波系统 | 第29-31页 |
| 2.1.2 真空系统 | 第31页 |
| 2.1.3 气路系统 | 第31页 |
| 2.1.4 保护系统 | 第31-32页 |
| 2.2 单晶金刚石激光切割装置 | 第32-33页 |
| 2.3 单晶金刚石机械抛光装置 | 第33页 |
| 2.4 金刚石的表征方法 | 第33-37页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第34页 |
| 2.4.2 激光拉曼光谱 | 第34-35页 |
| 2.4.3 等离子体发射光谱 | 第35-36页 |
| 2.4.4 金相显微镜 | 第36-37页 |
| 第3章 衬底温度对单晶金刚石生长质量的影响 | 第37-45页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 衬底单晶金刚石的选取与预处理 | 第37-39页 |
| 3.3 衬底温度对单金刚石生长速率及质量的影响 | 第39-43页 |
| 3.3.1 衬底温度对单晶金刚石生长速率的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.2 衬底温度对单晶金刚石生长质量的影响 | 第40-43页 |
| 3.4 衬底温度对等离子体发射光谱的影响 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 单晶金刚石边缘不同角度倾斜面对二维面积扩大的影响 | 第45-61页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 不同角度倾斜面对表面生长形貌与质量的影响 | 第45-51页 |
| 4.3 不同角度倾斜面对温度与生长速率的影响 | 第51-53页 |
| 4.4 不同角度倾斜面对等离子体发射光谱的影响 | 第53-55页 |
| 4.5 机理分析与讨论 | 第55-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 衬底基座结构对单晶金刚石二维面积扩大的影响 | 第61-70页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 衬底基座深度对单晶金刚石温度与生长速率的影响 | 第61-64页 |
| 5.3 衬底基座深度对单晶金刚石生长形貌与质量的影响 | 第64-67页 |
| 5.4 衬底基座深度对等离子体发射光谱的影响 | 第67-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第70-74页 |
| 6.1 论文总结 | 第70-72页 |
| 6.2 论文展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 攻读硕士期间已经发表的论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
