| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 文献综述 | 第7-29页 |
| ·前言 | 第7页 |
| ·类金刚石薄膜(DLC) | 第7-20页 |
| ·DLC的结构、性能及其应用 | 第7-10页 |
| ·DLC的制备方法 | 第10-13页 |
| ·DLC的表征 | 第13-19页 |
| ·DLC膜的研究进展及发展方向 | 第19-20页 |
| ·TiN系列超硬薄膜 | 第20-29页 |
| ·(Ti，Al)N，Ti(C，N)，TiN的结构与性能 | 第21-25页 |
| ·(Ti，Al)N，Ti(C,N)，TiN的制备方法 | 第25-27页 |
| ·TiN系列硬质薄膜的发展方向 | 第27-29页 |
| 第二章 类金刚石C膜形貌的AFM分析 | 第29-43页 |
| ·类金刚石C膜的制备 | 第29-34页 |
| ·直流磁控溅射原理 | 第29-32页 |
| ·直流磁控溅射设备及类金刚石C膜的制备过程 | 第32-34页 |
| ·原子力显微镜(AFM)测量表面形貌 | 第34-38页 |
| ·沉积工艺对DLC膜的形貌的影响 | 第38-42页 |
| ·基体温度对薄膜表面形貌的影响 | 第38页 |
| ·溅射功率对薄膜表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| ·沉积气压对薄膜表面形貌的影响 | 第39页 |
| ·结果讨论 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 TiN／TiAlN／TiN，TiN／TiAlN，TiN／TiNC多层硬质膜 | 第43-53页 |
| ·TiN／TiAlN／TiN，TiN／TiAlN，TiN／TiNC多层膜的制备 | 第43-45页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第45-49页 |
| ·扫描电镜分析(SEM) | 第49-50页 |
| ·显微硬度、拉伸实验结果及讨论 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
