数字波面干涉仪棱镜角度偏差测试技术的研究
| 绪论 | 第1-8页 |
| (1) 课题背景 | 第6-7页 |
| (2) 本文的主要研究工作 | 第7-8页 |
| 1 移相式数字波面干涉仪 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·移相式数字波面干涉仪 | 第8-10页 |
| ·PSI软件介绍 | 第10-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 波面复原 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·移相干涉术的基本原理 | 第14-16页 |
| ·减小移相误差的算法 | 第16-18页 |
| ·波面解包 | 第18-23页 |
| ·基本原理 | 第18-20页 |
| ·种子点法 | 第20-23页 |
| ·种子点法的改进 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 棱镜的特性 | 第24-34页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·直角棱镜的特性 | 第24-25页 |
| ·屋脊棱镜的特性 | 第25页 |
| ·锥体棱镜的特性 | 第25-33页 |
| ·锥体棱镜简介 | 第25-26页 |
| ·反射光线的性质 | 第26-32页 |
| ·面形误差对CCR反射光线性能的影响 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 干涉法测棱镜参数 | 第34-42页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·干涉法测锥体棱镜参数 | 第34-38页 |
| ·斐索干涉仪检测 | 第35-37页 |
| ·泰曼干涉仪检测 | 第37-38页 |
| ·干涉法测屋脊棱镜参数 | 第38-40页 |
| ·干涉法测直角棱镜参数 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 5 锥体棱镜参数测试软件的编制 | 第42-65页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·锥体棱镜参数的获得 | 第42-44页 |
| ·波面拟合原理 | 第42-43页 |
| ·由平面方程求角度误差 | 第43-44页 |
| ·综合误差的一种描述方法 | 第44页 |
| ·锥体棱镜参数测试模拟仿真软件的编制 | 第44-55页 |
| ·程序编制流程 | 第44-46页 |
| ·模拟仿真结果及分析 | 第46-55页 |
| ·锥体棱镜参数测试软件的编制 | 第55-62页 |
| ·从ZYGO得到的数据计算CCR参数 | 第55-59页 |
| ·完整的CCR测试软件 | 第59-62页 |
| ·锥体棱镜测试程序的应用 | 第62-63页 |
| ·屋脊棱镜、直角棱镜参数测试软件的编制 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录A: PSI测CCR3结果图 | 第71-72页 |
| 附录B: ZYGO测CCR3的结果图 | 第72页 |
