| 摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·激光干涉仪的发展历史及现状 | 第8-10页 |
| ·本文的主要研究内容及工作 | 第10-12页 |
| 2 光的干涉原理 | 第12-21页 |
| ·光波的叠加 | 第12-15页 |
| ·波的叠加原理 | 第12页 |
| ·光波强度的合成 | 第12-15页 |
| ·光的干涉 | 第15-19页 |
| ·分波面干涉 | 第15-17页 |
| ·分振幅干涉 | 第17-19页 |
| ·位移变化引起干涉的原理 | 第19页 |
| ·光相位调制的检测原理 | 第19-21页 |
| 3 激光干涉测长原理的研究 | 第21-28页 |
| ·激光的基本物理性质 | 第21-22页 |
| ·迈克尔逊干涉仪 | 第22-24页 |
| ·激光干涉测长仪的原理 | 第24-26页 |
| ·激光干涉测长系统的组成 | 第24页 |
| ·激光干涉测长的基本原理 | 第24-26页 |
| ·单频激光干涉仪的细分技术 | 第26-28页 |
| 4 焦平面上等倾干涉条纹能量计算 | 第28-39页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·迈克尔逊等倾干涉条纹的产生 | 第29-30页 |
| ·焦平面上任一组等倾干涉条纹能量的推导 | 第30-34页 |
| ·焦平面上等倾干涉条纹的能量随测量镜位置变化规律 | 第34-37页 |
| ·结论 | 第37-39页 |
| 5 单频激光干涉测长仪抗干扰性及细分技术的研究 | 第39-51页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·本章研究及解决的主要内容 | 第39-40页 |
| ·各种提高抗干扰性能及细分的方法比较 | 第40-42页 |
| ·单频激光干涉测长系统抗干扰性能及细分技术的研究 | 第42-51页 |
| ·提高单频激光干涉仪的抗干扰性能 | 第43-44页 |
| ·单频激光干涉测长系统细分技术的研究 | 第44-51页 |
| 6 试验论证及仿真分析 | 第51-60页 |
| ·试验平台的建立 | 第51-55页 |
| ·等倾条纹能量信号直流分量跟踪及细分方法的仿真分析 | 第55-60页 |
| ·变速运动时条纹细分方法的仿真分析 | 第56-57页 |
| ·信号直流分量跟踪方法的仿真分析 | 第57-60页 |
| 7 课题总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65页 |