| 第一章 扫描电子束曝光技术综述 | 第1-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·微细加工技术 | 第8-9页 |
| ·电子束曝光技术的发展 | 第9-10页 |
| ·扫描电子束曝光技术 | 第10-13页 |
| 第二章 课题背景和意义 | 第13-17页 |
| ·课题背景 | 第13-15页 |
| ·IBM改良图形发生器方案 | 第13-14页 |
| ·并行DSP处理器方案 | 第14-15页 |
| ·课题意义 | 第15页 |
| ·课题任务 | 第15-17页 |
| 第三章 图形发生器的总体方案设计 | 第17-21页 |
| ·图形发生器的主要设计指标 | 第17页 |
| ·系统的总体方案 | 第17-21页 |
| 第四章 图形发生器硬件设计 | 第21-47页 |
| ·数字信号处理单元 | 第21-29页 |
| ·数字信号处理单元的结构 | 第22页 |
| ·数字信号处理器TMS320VC33 | 第22-26页 |
| ·TMS320VC33地址分配 | 第26页 |
| ·TMS320VC33管脚连接 | 第26页 |
| ·Boot Loader功能 | 第26-29页 |
| ·DSP速度的考虑 | 第29页 |
| ·双端口存储器电路 | 第29-30页 |
| ·接口电路设计 | 第30-40页 |
| ·USB接口协议 | 第31-32页 |
| ·USB总线特点 | 第32-33页 |
| ·USB总线传输 | 第33-34页 |
| ·USB相关术语 | 第34-35页 |
| ·PDIUSBD12接口芯片 | 第35-36页 |
| ·接口实现方案 | 第36-37页 |
| ·PDIUSBD12硬件连接方式 | 第37页 |
| ·PDIUSBD12和P89C51RD2HBP的管脚连接 | 第37-40页 |
| ·曝光／标记检测控制单元 | 第40-41页 |
| ·最终曝光数据寄存器单元 | 第41-42页 |
| ·标记检测单元 | 第42-43页 |
| ·束闸控制单元 | 第43页 |
| ·数模转换单元 | 第43页 |
| ·图形发生器的工作过程 | 第43-47页 |
| 第五章 软件设计 | 第47-56页 |
| ·上位机软件设计 | 第47-53页 |
| ·USB的驱动设计 | 第47-49页 |
| ·上位机程序结构 | 第49页 |
| ·程序流程图 | 第49-53页 |
| ·USB固件程序 | 第53-56页 |
| ·USB固件结构 | 第53-55页 |
| ·PDIUSBD12端点功能 | 第55-56页 |
| 第六章 实验 | 第56-63页 |
| ·逻辑仿真 | 第56-57页 |
| ·设备安装 | 第57页 |
| ·数据读写测试 | 第57-63页 |
| 第七章 结论 | 第63-66页 |
| ·本课题的特点 | 第63页 |
| ·本课题的进展和突破 | 第63-64页 |
| ·课题进展 | 第63-64页 |
| ·课题突破 | 第64页 |
| ·课题的深入研究 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 发表文章目录 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 论文答辩说明和关于论文使用授权的说明 | 第70页 |