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Nd-Fe-B/α-Fe两相纳米晶复合交换永磁薄膜结构和磁性研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-8页
第一章 绪论第8-15页
 1.1 永磁材料的发展第8-10页
 1.2 永磁材料的分类及其性能特点第10-11页
 1.3 永磁材料的研究进展第11-12页
 1.4 论文的选题意义与创新点第12-13页
 1.5 论文的主要工作第13页
 1.6 本文工作的技术路线第13页
 1.7 本章小结第13-15页
第二章 纳米晶复合交换永磁材料的基本理论第15-38页
 2.1 磁学基本理论第15-17页
 2.2 永磁体的基本磁学参量第17-22页
  2.2.1 饱和磁化强度和剩余磁化强度第19-20页
  2.2.2 矫顽力第20-21页
  2.2.3 最大磁能积第21页
  2.2.4 居里温度和温度变化系数第21-22页
  2.2.5 磁晶各向异性第22页
 2.3 两相纳米晶Nd-Fe-B永磁材料第22-37页
  2.3.1 Nd_2Fe_(14)B的晶体结构和磁学性质第22-25页
  2.3.2 两相纳米晶Nd-Fe-B永磁材料的应用背景第25页
  2.3.3 兼有软硬磁性相优点的新型永磁材料第25-28页
  2.3.4 两相纳米晶复合交换永磁体的理论模型第28-31页
  2.3.5 纳米复相Nd-Fe-B永磁材料的分类第31-32页
  2.3.6 两相纳米晶复合交换永磁体的制备工艺第32-34页
  2.3.7 提高两相纳米晶复合交换永磁体磁性能的几种方法第34-35页
  2.3.8 两相纳米晶复合交换永磁体的应用前景第35-37页
 2.4 本章小结第37-38页
第三章 射频磁控溅射Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜的制备技术第38-50页
 3.1 射频磁控溅射镀膜技术第38-40页
 3.2 RFMS-4磁控溅射仪的主要功能与技术特性第40-41页
 3.3 纳米薄膜工艺技术参数第41-44页
  3.3.1 溅射速率稳定性研究第41-43页
  3.3.2 溅射工艺参数的确定第43-44页
 3.4 纳米复合多层膜的制备第44-48页
  3.4.1 基片的选择与预处理第44-46页
  3.4.2 多层膜结构参数的确定第46-47页
  3.4.3 射频磁控溅射镀膜工艺流程第47页
  3.4.4 薄膜的真空退火第47-48页
 3.5 本章小结第48-50页
第四章 Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜的结构及形貌分析第50-63页
 4.1 薄膜成分的均匀性分析第50-52页
 4.2 俄歇电子(AES)能谱分析第52-55页
 4.3 X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构第55-58页
 4.4 扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌的观测分析第58-62页
 4.5 本章小结第62-63页
第五章 Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜的磁性研究第63-81页
 5.1 薄膜的磁性测试第63-64页
  5.1.1 振动样品磁强计(VSM)简介第63-64页
  5.1.2 薄膜磁性的测量第64页
 5.2 退火温度对Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜磁性能影响第64-68页
 5.3 调制结构对Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜磁性能影响第68-75页
 5.4 多层膜的各向异性第75-76页
 5.5 纳米晶复合多层膜磁性能与理论值差异分析第76-79页
 5.6 本章小结第79-81页
结论第81-83页
参考文献第83-88页
攻读学位期间发表的论文第88-89页
致谢第89页

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