中文摘要 | 第1-4页 |
英文摘要 | 第4-8页 |
第一章 绪论 | 第8-15页 |
1.1 永磁材料的发展 | 第8-10页 |
1.2 永磁材料的分类及其性能特点 | 第10-11页 |
1.3 永磁材料的研究进展 | 第11-12页 |
1.4 论文的选题意义与创新点 | 第12-13页 |
1.5 论文的主要工作 | 第13页 |
1.6 本文工作的技术路线 | 第13页 |
1.7 本章小结 | 第13-15页 |
第二章 纳米晶复合交换永磁材料的基本理论 | 第15-38页 |
2.1 磁学基本理论 | 第15-17页 |
2.2 永磁体的基本磁学参量 | 第17-22页 |
2.2.1 饱和磁化强度和剩余磁化强度 | 第19-20页 |
2.2.2 矫顽力 | 第20-21页 |
2.2.3 最大磁能积 | 第21页 |
2.2.4 居里温度和温度变化系数 | 第21-22页 |
2.2.5 磁晶各向异性 | 第22页 |
2.3 两相纳米晶Nd-Fe-B永磁材料 | 第22-37页 |
2.3.1 Nd_2Fe_(14)B的晶体结构和磁学性质 | 第22-25页 |
2.3.2 两相纳米晶Nd-Fe-B永磁材料的应用背景 | 第25页 |
2.3.3 兼有软硬磁性相优点的新型永磁材料 | 第25-28页 |
2.3.4 两相纳米晶复合交换永磁体的理论模型 | 第28-31页 |
2.3.5 纳米复相Nd-Fe-B永磁材料的分类 | 第31-32页 |
2.3.6 两相纳米晶复合交换永磁体的制备工艺 | 第32-34页 |
2.3.7 提高两相纳米晶复合交换永磁体磁性能的几种方法 | 第34-35页 |
2.3.8 两相纳米晶复合交换永磁体的应用前景 | 第35-37页 |
2.4 本章小结 | 第37-38页 |
第三章 射频磁控溅射Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜的制备技术 | 第38-50页 |
3.1 射频磁控溅射镀膜技术 | 第38-40页 |
3.2 RFMS-4磁控溅射仪的主要功能与技术特性 | 第40-41页 |
3.3 纳米薄膜工艺技术参数 | 第41-44页 |
3.3.1 溅射速率稳定性研究 | 第41-43页 |
3.3.2 溅射工艺参数的确定 | 第43-44页 |
3.4 纳米复合多层膜的制备 | 第44-48页 |
3.4.1 基片的选择与预处理 | 第44-46页 |
3.4.2 多层膜结构参数的确定 | 第46-47页 |
3.4.3 射频磁控溅射镀膜工艺流程 | 第47页 |
3.4.4 薄膜的真空退火 | 第47-48页 |
3.5 本章小结 | 第48-50页 |
第四章 Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜的结构及形貌分析 | 第50-63页 |
4.1 薄膜成分的均匀性分析 | 第50-52页 |
4.2 俄歇电子(AES)能谱分析 | 第52-55页 |
4.3 X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构 | 第55-58页 |
4.4 扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌的观测分析 | 第58-62页 |
4.5 本章小结 | 第62-63页 |
第五章 Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜的磁性研究 | 第63-81页 |
5.1 薄膜的磁性测试 | 第63-64页 |
5.1.1 振动样品磁强计(VSM)简介 | 第63-64页 |
5.1.2 薄膜磁性的测量 | 第64页 |
5.2 退火温度对Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜磁性能影响 | 第64-68页 |
5.3 调制结构对Nd-Fe-B/α-Fe复合多层膜磁性能影响 | 第68-75页 |
5.4 多层膜的各向异性 | 第75-76页 |
5.5 纳米晶复合多层膜磁性能与理论值差异分析 | 第76-79页 |
5.6 本章小结 | 第79-81页 |
结论 | 第81-83页 |
参考文献 | 第83-88页 |
攻读学位期间发表的论文 | 第88-89页 |
致谢 | 第89页 |