| 中文摘要 | 第1-8页 |
| 英文摘要 | 第8-10页 |
| 第一章 概论 | 第10-20页 |
| 1．1 微电子机械系统的研究现状和发展趋势 | 第10-15页 |
| 1．1．1 微电子机械系统的含义与研究范畴 | 第10-12页 |
| 1．1．2 微电子机械系统的现状与发展趋势 | 第12-13页 |
| 1．1．3 微电子机械系统的国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1．2 微电机的发展概况及电磁微电机的研究意义 | 第15-18页 |
| 1．3 本文的研究要点 | 第18-20页 |
| 第二章 端面摇摆式电磁微电机的工作原理和运动学分析 | 第20-31页 |
| 2．1 引言 | 第20-21页 |
| 2．2 端面摇摆式电磁微电机的工作原理和特点 | 第21-26页 |
| 2．3 端面摇摆式电磁微电机的运动学分析 | 第26-30页 |
| 2．4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 端面摇摆式电磁微电机磁场分析 | 第31-82页 |
| 3．1 电机磁场分析理论基础 | 第31-37页 |
| 3．1．1 电机电磁场的基本方程 | 第31-33页 |
| 3．1．2 电机恒定磁场的基本方程及其边界条件 | 第33-35页 |
| 3．1．3 电机恒定磁场的位函数及其微分方程 | 第35-37页 |
| 3．2 端面摇摆式电磁微电机磁场分析 | 第37-77页 |
| 3．2．1 电机磁场边值问题表述 | 第37-43页 |
| 3．2．2 电机磁场边值问题变换 | 第43-51页 |
| 3．2．3 单线圈依次加电时电机气隙磁场计算 | 第51-65页 |
| 3．2．4 相邻两线圈依次加电时电机气隙磁场计算 | 第65-77页 |
| 3．3 端面摇摆式电磁微电机工作电感分析 | 第77-81页 |
| 3．3．1 单线圈激励电机工作电感计算 | 第77-78页 |
| 3．3．2 双线圈激励电机工作电感计算 | 第78-81页 |
| 3．4 本章小结 | 第81-82页 |
| 第四章 端面摇摆式电磁微电机的换能机制及其动力性能分析 | 第82-98页 |
| 4．1 端面摇摆式电磁微电机的能量转换机制 | 第82-89页 |
| 4．1．1 电机中机电能量转换过程的能量关系 | 第82-83页 |
| 4．1．2 单线圈通电时电机的能量转换过程及其运动方程 | 第83-86页 |
| 4．1．3 相邻双线圈通电时电机的能量转换过程及其运动方程 | 第86-89页 |
| 4．2 电机输出转矩 | 第89-95页 |
| 4．2．1 单线圈激励时电机输出电磁转矩 | 第89-92页 |
| 4．2．2 双线圈激励时电机输出电磁转矩 | 第92-95页 |
| 4．3 电机结构参数和控制参数与电机输出扭矩的关系 | 第95-97页 |
| 4．4 本章小结 | 第97-98页 |
| 第五章 端面摇摆式电磁微电机的实验研究 | 第98-110页 |
| 5．1 引言 | 第98页 |
| 5．2 端面摇摆式电磁微电机控制装置的研制 | 第98-99页 |
| 5．3 端面摇摆式电磁微电机实验样机的制作 | 第99-102页 |
| 5．4 端面摇摆式电磁微电机的运动学实验 | 第102-106页 |
| 5．5 端面摇摆式电磁微电机的动力特性实验 | 第106-109页 |
| 5．6 本章小结 | 第109-110页 |
| 第六章 结束语 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-117页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第117-118页 |
| 作者简历 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119页 |
