二元光学激光直写设备传动系统结构设计与分析
| 第一章 引言 | 第1-17页 |
| ·本课题的来源 | 第9页 |
| ·开展二元光学激光直写设备传动系统研究的意义 | 第9-10页 |
| ·激光直接写入设备发展概况 | 第10-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 传动系统总体结构方案分析 | 第17-24页 |
| ·二元光学激光直写设备总体结构介绍 | 第17-19页 |
| ·机械系统 | 第17-18页 |
| ·电控系统 | 第18-19页 |
| ·光学系统 | 第19页 |
| ·传动系统性能指标要求 | 第19-20页 |
| ·传动系统总体方案的确定 | 第20-22页 |
| ·传动系统的机械结构 | 第20-21页 |
| ·传动系统的运动控制 | 第21-22页 |
| ·总结 | 第22-24页 |
| 第三章 传动系统结构设计 | 第24-35页 |
| ·滚珠丝杠传动机构设计 | 第24-28页 |
| ·滚珠丝杠副的选取 | 第24页 |
| ·滚珠丝杠的安装方式 | 第24-25页 |
| ·滚珠丝杠的支承 | 第25-26页 |
| ·滚珠丝杠副的预紧 | 第26-28页 |
| ·丝杠导轨连接结构设计 | 第28页 |
| ·空气静压导轨结构设计 | 第28-31页 |
| ·导轨受力分析 | 第28-29页 |
| ·导轨结构形式的选择 | 第29页 |
| ·其他提高导轨刚度的措施 | 第29-30页 |
| ·导轨材料的选择 | 第30-31页 |
| ·联轴节设计 | 第31-32页 |
| ·柔性铰链机构设计 | 第32-33页 |
| ·其他辅助结构设计 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第四章 传动系统性能指标分析 | 第35-42页 |
| ·传动系统最小位移分辨力分析 | 第35页 |
| ·传动系统开环定位误差分析 | 第35-38页 |
| ·由丝杠螺母机构综合拉压刚度变化所引起的定位误差 | 第36-38页 |
| ·由丝杠导轨安装平行误差引起的定位误差 | 第38页 |
| ·由止推轴承轴向跳动引起的定位误差 | 第38页 |
| ·光栅尺安装误差对系统闭环定位精度的影响 | 第38-39页 |
| ·传动系统动态特性分析 | 第39-41页 |
| ·丝杠-工作台纵振系统的最低固有频率计算 | 第39页 |
| ·传动系统最低扭振频率的计算 | 第39-40页 |
| ·空气静压导轨的固有频率计算 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第五章 传动系统精度检测 | 第42-52页 |
| ·传动系统最小位移分辨力的检测 | 第42-43页 |
| ·HP5528A双频激光干涉仪简介 | 第42-43页 |
| ·检测过程及结果 | 第43页 |
| ·导轨直线度的检测 | 第43-47页 |
| ·检测工具 | 第44页 |
| ·测量过程及结果 | 第44-47页 |
| ·传动系统定位精度的检测 | 第47-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 在读期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
