类金刚石膜的制备与特性研究
| 1 前言 | 第1-21页 |
| 1．1 类金刚石膜的结构 | 第7-8页 |
| 1．2 类金刚石膜发展史和近年研究热点 | 第8-10页 |
| 1．2．1 类金刚石薄膜发展史 | 第8-9页 |
| 1．2．2 近年研究热点 | 第9-10页 |
| 1．3 类金刚石膜的应用 | 第10-13页 |
| 1．3．1 光学领域的应用 | 第10-11页 |
| 1．3．2 医学领域的应用 | 第11-13页 |
| 1．4 常用制备方法 | 第13-16页 |
| 1．4．1 物理气相沉积 | 第13-15页 |
| 1．4．2 化学气相沉积 | 第15-16页 |
| 1．5 微波ECR-PSⅡ及ECR-CVD简介 | 第16-19页 |
| 1．5．1 微波ECR等离子源的原理及特点 | 第16-18页 |
| 1．5．2 PSⅡ技术 | 第18页 |
| 1．5．3 ECR-CVD技术 | 第18-19页 |
| 1．6 选题依据 | 第19-21页 |
| 2 实验设备及工艺 | 第21-26页 |
| 2．1 实验设备 | 第21-23页 |
| 2．2 工艺 | 第23-26页 |
| 3 实验结果及分析 | 第26-52页 |
| 3．1 结构分析 | 第26-38页 |
| 3．1．1 拉曼光谱分析 | 第26-34页 |
| 3．1．2 紫外拉曼分析 | 第34-35页 |
| 3．1．3 傅立叶变换红外透射光谱分析 | 第35-37页 |
| 3．1．4 X射线光电子谱分析 | 第37-38页 |
| 3．1．5 透射电镜分析 | 第38页 |
| 3．2 形貌分析 | 第38-43页 |
| 3．2．1 原子力显微镜分析 | 第38-43页 |
| 3．2．2 扫描电镜分析 | 第43页 |
| 3．3 摩擦系数分析 | 第43-45页 |
| 3．4 硬度分析 | 第45-52页 |
| 3．4．1 显微硬度分析 | 第45-47页 |
| 3．4．2 纳米硬度分析 | 第47-52页 |
| 4 结论 | 第52-54页 |
| 4．1 薄膜的制备工艺 | 第52页 |
| 4．2 实验参数的影响 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
