| <中文摘要> | 第1页 |
| <关键词> | 第3-4页 |
| <英文摘要> | 第4页 |
| <英文关键词> | 第4-9页 |
| 第1章 绪 论 | 第9-23页 |
| §1.1 选题背景及意义 | 第9-11页 |
| §1.2 快速成型制造（Rapid Prototyping ＆ Manufacturing）技术 | 第11-19页 |
| §1.3 快速成型技术发展方向及存在的问题 | 第19-21页 |
| §1.4 本文的主要工作 | 第21-23页 |
| 第2章 新型CPS250快速成型系统构成 | 第23-35页 |
| §2.1 光固化快速成型系统的一般组成 | 第23-25页 |
| §2.2 CPS250 光固化快速成型机硬件及软件系统的组成 | 第25-26页 |
| §2.3 新型 CPS250快速成型系统的结构 | 第26-31页 |
| §2.4 新型 CPS250快速成型系统软件功能介绍 | 第31-34页 |
| §2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 光学系统的设计思想及理论分析 | 第35-63页 |
| §3.1 光源的选择 | 第35-39页 |
| §3.2 椭球反光聚焦系统及其分析 | 第39-46页 |
| §3.3 光能量在光纤中的传输 | 第46-51页 |
| §3.4 耦合聚焦系统及其分析 | 第51-62页 |
| §3.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 光固化成型机理研究及控光快门的设计 | 第63-85页 |
| §4.1 光敏树脂的光固化特性 | 第63-68页 |
| §4.2 快速成型过程及分析 | 第68-74页 |
| §4.3 控光快门的设想 | 第74-76页 |
| §4.4 设计及理论分析 | 第76-83页 |
| §4.5 性能参数测试 | 第83-84页 |
| §4.6 本章小结 | 第84-85页 |
| 第5章 成型方式与收缩变形 | 第85-99页 |
| §5.1 固化零件翘曲变形成因分析 | 第85-87页 |
| §5.2 固化成型方式与收缩变形 | 第87-90页 |
| §5.3 固化收缩的力学分析 | 第90-95页 |
| §5.4 掩摸法的二次曝光工艺研究 | 第95-98页 |
| §5.5 本章小结 | 第98-99页 |
| 第6章 应用于微电子机械（MEMS）中的快速成型技术 | 第99-121页 |
| §6.1 概述 | 第99-104页 |
| §6.2 MEMS的主要加工方法 | 第104-107页 |
| §6.3 静电力MEMS驱动器 | 第107-109页 |
| §6.4 掩膜制作及其平面曝光固化成型 | 第109-116页 |
| §6.5 静电力MEMS驱动器特性分析 | 第116-120页 |
| §6.6 本章小结 | 第120-121页 |
| 第7章 结论与展望 | 第121-124页 |
| §7.1 结论 | 第121-122页 |
| §7.2 展望 | 第122-124页 |
| 致 谢 | 第124-125页 |
| <引文> | 第125-131页 |
| 附 录 | 第131-132页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及科研教学情况 | 第132-133页 |
