微推进器结构与制作工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·微推进系统研究背景 | 第7页 |
| ·微推进系统研究现状 | 第7-14页 |
| ·气体推进系统 | 第7-8页 |
| ·微电推进系统 | 第8-10页 |
| ·MEMS微推进系统 | 第10-11页 |
| ·MEMS微推进器研究现状 | 第11-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 2 微推进器结构与工艺设计 | 第15-24页 |
| ·微推进器性能比较 | 第15页 |
| ·微推进器整体方案设计 | 第15-17页 |
| ·制作工艺设计 | 第17-23页 |
| ·点火电路层设计 | 第17-19页 |
| ·药室层工艺设计 | 第19-22页 |
| ·喷孔层工艺设计 | 第22-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 3 微推进器制作工艺研究 | 第24-49页 |
| ·点火电路层制作工艺 | 第24-34页 |
| ·相关工艺介绍 | 第24-26页 |
| ·点火电路制作工艺 | 第26-34页 |
| ·药室层制作工艺 | 第34-37页 |
| ·材料与工艺介绍 | 第34页 |
| ·环氧树脂板药室 | 第34页 |
| ·陶瓷药室 | 第34-35页 |
| ·硅药室 | 第35-36页 |
| ·光敏玻璃药室 | 第36-37页 |
| ·喷孔层制作工艺 | 第37-46页 |
| ·相关工艺介绍 | 第37-41页 |
| ·喷孔层制作 | 第41-46页 |
| ·微推进器的封装 | 第46-48页 |
| ·MEMS封装技术 | 第46-47页 |
| ·微推进器封装方法 | 第47-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 4 微推进器性能测试 | 第49-66页 |
| ·点火桥膜发火性能测试 | 第49-55页 |
| ·测试设备 | 第49-50页 |
| ·测试结果及分析 | 第50-55页 |
| ·微推进器推力测试 | 第55-64页 |
| ·药剂的注装 | 第55-57页 |
| ·微推力测试 | 第57-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 5 点火桥膜和药室的有限元模拟 | 第66-77页 |
| ·点火桥膜点火模拟 | 第66-71页 |
| ·药室热性能模拟 | 第71-75页 |
| ·小结 | 第75-77页 |
| 6 结论及展望 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
