三维非接触光学测头技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·选题背景和研究意义 | 第8页 |
| ·国内外研究概况 | 第8-11页 |
| ·主要的非接触三维测量方法 | 第8-10页 |
| ·视觉法三维测量 | 第10-11页 |
| ·研究目标及关键技术 | 第11-12页 |
| ·研究目标 | 第11页 |
| ·关键技术分析 | 第11-12页 |
| ·主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 测量原理分析 | 第14-25页 |
| ·显微视觉测量 | 第14页 |
| ·图像测量 | 第14-16页 |
| ·图像去噪 | 第15页 |
| ·边缘检测 | 第15-16页 |
| ·像素细分 | 第16页 |
| ·自动聚焦 | 第16-24页 |
| ·离焦成像系统模型 | 第17-19页 |
| ·离焦成像系统特性的模拟分析 | 第19-20页 |
| ·自动聚焦函数 | 第20-22页 |
| ·对自动聚焦曲线的数据处理 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 研究方案与光学设计 | 第25-40页 |
| ·测头的方案设计 | 第25-26页 |
| ·光学特性参数的确定 | 第26-28页 |
| ·显微镜的设计思想 | 第28-31页 |
| ·显微镜的结构 | 第28-29页 |
| ·显微镜需要校正的像差 | 第29-31页 |
| ·显微物镜的设计 | 第31-33页 |
| ·显微镜头的初始结构型式 | 第31-32页 |
| ·物镜参数的初步估计 | 第32-33页 |
| ·物镜的像差校正 | 第33页 |
| ·摄影目镜的设计 | 第33-34页 |
| ·分光棱镜的设计 | 第34-35页 |
| ·校正畸变 | 第35页 |
| ·光学设计结果 | 第35-38页 |
| ·镜头的公差分析 | 第38-39页 |
| ·光学零件制图 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 参数测试 | 第40-49页 |
| ·测头的分辨率 | 第40页 |
| ·测头的测量范围 | 第40-41页 |
| ·测头的像素当量 | 第41-43页 |
| ·测头的畸变 | 第43-46页 |
| ·测头的景深 | 第46-48页 |
| ·景深的理论计算值 | 第46-47页 |
| ·测头的景深测量 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 实验及分析 | 第49-68页 |
| ·影响XY方向测量精度的因素 | 第49-56页 |
| ·光照强度 | 第49-53页 |
| ·光轴倾斜 | 第53-55页 |
| ·物面离焦 | 第55-56页 |
| ·影响Z方向聚焦精度的因素 | 第56-62页 |
| ·自动聚焦函数 | 第56-57页 |
| ·光照强度 | 第57-58页 |
| ·照明方式 | 第58-59页 |
| ·被测物体的空间频率 | 第59-61页 |
| ·光轴倾斜和聚焦区域 | 第61-62页 |
| ·测量实例 | 第62-65页 |
| ·XY方向 | 第62-63页 |
| ·Z方向 | 第63-65页 |
| ·三维轮廓快速测量 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·全文总结 | 第68-69页 |
| ·研究工作展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表的论文 | 第74页 |
| 附录B 攻读硕士期间参加的学术活动 | 第74-75页 |
| 附录C 显微镜光学设计的部分图纸 | 第75-77页 |
| 附录D 相关的实物图 | 第77-78页 |