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太阳能电池绒面的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
引言第8-10页
1 文献综述第10-32页
   ·绒面的表面结果和光学特性第10-12页
   ·单晶硅片的绒面制备第12-18页
     ·碱溶液刻蚀第12-14页
     ·碱性盐溶液刻蚀第14-15页
     ·TMAH刻蚀第15-18页
     ·启泡剂第18页
   ·多晶硅的绒面制备第18-29页
     ·掩膜腐蚀法第19页
     ·等离子刻蚀法第19-21页
     ·酸性腐蚀第21-29页
   ·载流子寿命第29-32页
     ·载流子寿命测试原理第29-30页
     ·少子寿命测试方法第30-32页
2 绒面硅的分析方法第32-35页
   ·原子力显微镜第32-33页
   ·载流子寿命测试第33-35页
3 NaOH溶液制备单晶硅绒面第35-39页
   ·实验步骤和表征方法第35-36页
     ·实验步骤第35页
     ·表征方法第35-36页
   ·表征分析第36-38页
     ·反射率分析第36-37页
     ·NaOH浓度对载流子寿命的影响第37-38页
 本章小结第38-39页
4 磷酸钠溶液制备单晶硅绒面第39-45页
   ·实验步骤和表征方法第39-40页
     ·实验步骤第39页
     ·表征方法第39-40页
   ·表征分析第40-44页
     ·反应时间和浓度对反射率的影响第40-41页
     ·反应温度对反射率的影响第41-42页
     ·磷酸钠溶液中加入IPA第42-44页
 本章小结第44-45页
5 硅酸钠溶液制备单晶硅绒面第45-48页
   ·实验步骤和表征方法第45页
     ·实验步骤第45页
     ·表征方法第45页
   ·实验结果与讨论第45-47页
     ·反射率测试结果第45-47页
 本章小结第47-48页
结论第48-49页
参考文献第49-52页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第52-53页
致谢第53-54页

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