| 提要 | 第1-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·不同驱动方式薄膜泵的工作原理 | 第11-13页 |
| ·静电驱动薄膜泵 | 第11页 |
| ·热驱动薄膜泵 | 第11-12页 |
| ·电磁驱动薄膜泵 | 第12页 |
| ·气体驱动薄膜泵 | 第12页 |
| ·压电驱动薄膜泵 | 第12-13页 |
| ·压电泵的研究状况 | 第13-19页 |
| ·无阀压电泵 | 第15-16页 |
| ·有阀压电泵 | 第16-19页 |
| ·压电泵的应用与发展 | 第19-21页 |
| ·压电泵在医药上的应用 | 第19-20页 |
| ·压电泵在微电子冷却装置上的应用 | 第20页 |
| ·压电泵在化学分析系统上的应用 | 第20-21页 |
| ·压电泵的未来发展 | 第21页 |
| ·选题意义及本文研究内容 | 第21-24页 |
| 第二章 压电驱动技术及压电振子工作理论 | 第24-41页 |
| ·压电材料的重要参数 | 第24-28页 |
| ·介电常数 | 第24-25页 |
| ·压电性与压电常数 | 第25-26页 |
| ·机电耦合系数 | 第26-27页 |
| ·介质损耗因子和电学品质因数 | 第27页 |
| ·频率常数N | 第27-28页 |
| ·老化 | 第28页 |
| ·温度稳定性和居里点 | 第28页 |
| ·电退极化 | 第28页 |
| ·解析法求圆形压电振子弯曲变形方程和变形容积 | 第28-35页 |
| ·锆钛酸铅压电陶瓷 | 第29页 |
| ·压电振子的性能参数 | 第29-30页 |
| ·压电振子理论力学模型建立与解析 | 第30-35页 |
| ·压电振子变形量的试验测试 | 第35-38页 |
| ·压电振子变形量试验测试方法 | 第35-36页 |
| ·压电振子静态变形量试验测试 | 第36-37页 |
| ·压电振子动态变形量试验测试 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-41页 |
| 第三章 压电泵被动截止阀特性研究 | 第41-59页 |
| ·被动截止阀的类型及工作原理 | 第41-44页 |
| ·悬臂梁阀 | 第41-42页 |
| ·平板阀 | 第42页 |
| ·蝶阀与“V”型阀 | 第42-43页 |
| ·其它形式的泵用截止阀 | 第43-44页 |
| ·悬臂梁阀与平板阀的变形理论 | 第44-46页 |
| ·悬臂梁阀的变形理论 | 第44-45页 |
| ·平板阀的变形理论 | 第45-46页 |
| ·被动截止阀设计与工作条件 | 第46-49页 |
| ·压电泵被动截止阀的设计要求 | 第46页 |
| ·压电泵被动截止阀的工作条件 | 第46-48页 |
| ·被动截止阀的动态响应特性 | 第48-49页 |
| ·不同结构被动截止阀的性能 | 第49-56页 |
| ·悬臂梁阀的过流特性 | 第49页 |
| ·轮式平板阀的过流特性 | 第49-50页 |
| ·伞形橡胶阀的性能分析 | 第50-56页 |
| ·阀的性能测试 | 第56-58页 |
| ·阀的开启压力和通流能力测试 | 第57页 |
| ·不同阀体压电泵的自吸性能测试 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 双振子压电泵的设计理论 | 第59-73页 |
| ·单振子单腔压电泵理论输出 | 第59-60页 |
| ·单振子单腔压电泵工作原理 | 第59-60页 |
| ·单振子单腔压电泵理论输出能力 | 第60页 |
| ·双振子压电泵工作原理与理论输出 | 第60-64页 |
| ·双振子压电泵电信号的驱动形式 | 第60-61页 |
| ·双振子单腔泵 | 第61页 |
| ·双振子双腔串联压电泵 | 第61-63页 |
| ·双振子双腔并联压电泵 | 第63-64页 |
| ·双振子压电泵结构参数确定及对泵性能影响 | 第64-70页 |
| ·泵腔初始容积的确定 | 第64-65页 |
| ·泵腔初始容积对自吸性影响 | 第65-67页 |
| ·截止阀处通流孔尺寸的确定 | 第67-70页 |
| ·双振子压电泵工作时的节流气穴与气蚀现象 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 双振子压电泵的结构优化设计与试验分析 | 第73-89页 |
| ·流体流动的基本理论 | 第73-74页 |
| ·雷诺系数 | 第73-74页 |
| ·流体在管中层流流动时的速度与能量损失 | 第74页 |
| ·双振子压电泵的结构设计与试验测试 | 第74-86页 |
| ·试验测试的方法与设备 | 第75页 |
| ·双振子单腔压电泵设计与试验 | 第75-79页 |
| ·双振子串联压电泵设计与试验 | 第79-82页 |
| ·双振子并联压电泵设计与试验 | 第82-86页 |
| ·本章小结 | 第86-89页 |
| 第六章 双振子压电泵泵送气体和不同粘度液体的试验研究 | 第89-105页 |
| ·粘性不可压缩流体的驱动理论 | 第89-90页 |
| ·流体的粘度 | 第89页 |
| ·流体粘度对泵腔体容积变化及阀振动的影响 | 第89-90页 |
| ·气体的流动理论 | 第90-93页 |
| ·理想气体状态方程 | 第90-91页 |
| ·声速和马赫数 | 第91页 |
| ·可压缩流体运动的三种状态 | 第91-92页 |
| ·双振子压电泵泵送气体流量计算 | 第92-93页 |
| ·双振子压电泵驱动不同粘度流体的试验 | 第93-97页 |
| ·试验流体的选择 | 第93-94页 |
| ·泵送不同粘度液体的试验装置与方法 | 第94-95页 |
| ·双振子串联泵驱动不同粘度流体的试验 | 第95页 |
| ·双振子并联泵驱动不同粘度流体的试验 | 第95-97页 |
| ·双振子压电泵驱动气体的试验 | 第97-102页 |
| ·测量气体流量输出的试验装置与方法 | 第97-99页 |
| ·压电振子的发热试验 | 第99页 |
| ·腔体初始容积对泵送气体性能影响 | 第99-100页 |
| ·电信号驱动方式对泵送气体性能影响 | 第100-101页 |
| ·相同初始容积的双振子压电泵输出性能比较 | 第101-102页 |
| ·本章小结 | 第102-105页 |
| 第七章 结论 | 第105-109页 |
| 参考文献 | 第109-117页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第117-118页 |
| 攻读学位期间参加科研项目情况 | 第118-119页 |
| 摘要 | 第119-122页 |
| ABSTRACT | 第122-126页 |
| 致谢 | 第126页 |