摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-14页 |
第1章 绪论 | 第14-36页 |
·课题背景 | 第14-16页 |
·离子辐照加速扩散及其经典理论 | 第14页 |
·离子辐照加速扩散经典理论存在的问题 | 第14-16页 |
·国内外研究进展 | 第16-34页 |
·等离子扩渗处理的研究现状 | 第16-21页 |
·非线性效应概述 | 第21-28页 |
·扩散微观机制的研究现状 | 第28-34页 |
·研究现状分析 | 第34页 |
·主要研究内容 | 第34-36页 |
第2章 试验设计与研究方法 | 第36-42页 |
·试验设计 | 第36-40页 |
·离子辐照长程影响间隙扩散行为的试验设计 | 第36-39页 |
·离子辐照长程影响置换扩散和表面偏聚行为的试验设计 | 第39-40页 |
·分析测试方法 | 第40-42页 |
·微观组织分析 | 第40页 |
·溅射速率与膜层厚度测量 | 第40页 |
·晶体学取向表征 | 第40页 |
·元素浓度分布测量 | 第40页 |
·材料缺陷状态的表征方法 | 第40-42页 |
第3章 离子辐照辅助扩散试验装置的设计与样品温度一致性的研究 | 第42-55页 |
·离子辐照辅助扩散的试验装置设计 | 第42-43页 |
·样品温度一致性的计算模型 | 第43-48页 |
·温度场模型的建立 | 第44-46页 |
·材料的物理参数 | 第46页 |
·边界条件的确定 | 第46-47页 |
·网格划分及模拟过程的控制 | 第47-48页 |
·加热温度和辐照功率对样品温度一致性的影响 | 第48-54页 |
·样品温度一致性的模拟结果 | 第48-52页 |
·温度一致性的试验验证 | 第52-54页 |
·本章小结 | 第54-55页 |
第4章 离子辐照与材料间隙扩散行为的长程耦合及机制分析 | 第55-71页 |
·基体材料与脱碳层的制备 | 第55-57页 |
·基体材料 | 第55页 |
·脱碳层的制备 | 第55-57页 |
·扩散试验参数的选择 | 第57-59页 |
·离子辐照对碳在脱碳层中扩散行为的影响 | 第59-68页 |
·氩离子辐照对柱状晶脱碳层中碳扩散动力学的长程作用 | 第59-64页 |
·辐照能量和束流密度对柱状晶脱碳层中碳扩散行为的长程作用 | 第64-66页 |
·氩离子辐照对等轴晶脱碳层中碳扩散动力学的长程作用 | 第66-68页 |
·离子辐照与间隙扩散长程耦合的机理分析 | 第68-70页 |
·本章小结 | 第70-71页 |
第5章 离子辐照与材料置换扩散及表面偏聚行为的长程耦合及机制分析 | 第71-115页 |
·基体材料与铜-镍扩散偶的制备 | 第71-74页 |
·基体材料 | 第71-72页 |
·铜-镍扩散偶的制备 | 第72-74页 |
·扩散试验参数的选择 | 第74-76页 |
·元素浓度分布曲线的校准与扩散系数的求解 | 第76-79页 |
·浓度分布曲线的校准 | 第76-78页 |
·扩散系数的求解 | 第78-79页 |
·氩离子辐照对镍在单晶铜中扩散行为的长程作用 | 第79-90页 |
·样品厚度对镍在单晶铜中扩散的影响 | 第79-87页 |
·氩离子能量对镍在单晶铜中扩散的影响 | 第87页 |
·氩离子束流密度对镍在单晶铜中对扩散的影响 | 第87-89页 |
·离子辐照对扩散激活能和频率因子的长程作用 | 第89-90页 |
·氩离子辐照对镍在柱状晶铜中扩散行为的长程作用 | 第90-100页 |
·氩离子辐照对镍在多晶铜中扩散行为的影响规律 | 第100-105页 |
·样品厚度对镍在多晶铜中扩散的影响 | 第101-104页 |
·氩离子能量对镍在多晶铜中扩散的影响 | 第104-105页 |
·氩离子辐照对铜在镍镀层表面偏聚行为的影响规律 | 第105-107页 |
·离子辐照与置换扩散和表面偏聚长程耦合的机制分析 | 第107-114页 |
·离子辐照对镀层组织及基体状态缺陷的影响规律 | 第107-112页 |
·离子辐照与置换扩散长程耦合的机制分析 | 第112-113页 |
·离子辐照与表面偏聚长程耦合的机制分析 | 第113-114页 |
·本章小结 | 第114-115页 |
结论 | 第115-118页 |
参考文献 | 第118-127页 |
攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第127-129页 |
致谢 | 第129-130页 |
个人简历 | 第130页 |