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离子辐照对材料中扩散行为的长程影响及其机制研究

摘要第1-6页
Abstract第6-14页
第1章 绪论第14-36页
   ·课题背景第14-16页
     ·离子辐照加速扩散及其经典理论第14页
     ·离子辐照加速扩散经典理论存在的问题第14-16页
   ·国内外研究进展第16-34页
     ·等离子扩渗处理的研究现状第16-21页
     ·非线性效应概述第21-28页
     ·扩散微观机制的研究现状第28-34页
     ·研究现状分析第34页
   ·主要研究内容第34-36页
第2章 试验设计与研究方法第36-42页
   ·试验设计第36-40页
     ·离子辐照长程影响间隙扩散行为的试验设计第36-39页
     ·离子辐照长程影响置换扩散和表面偏聚行为的试验设计第39-40页
   ·分析测试方法第40-42页
     ·微观组织分析第40页
     ·溅射速率与膜层厚度测量第40页
     ·晶体学取向表征第40页
     ·元素浓度分布测量第40页
     ·材料缺陷状态的表征方法第40-42页
第3章 离子辐照辅助扩散试验装置的设计与样品温度一致性的研究第42-55页
   ·离子辐照辅助扩散的试验装置设计第42-43页
   ·样品温度一致性的计算模型第43-48页
     ·温度场模型的建立第44-46页
     ·材料的物理参数第46页
     ·边界条件的确定第46-47页
     ·网格划分及模拟过程的控制第47-48页
   ·加热温度和辐照功率对样品温度一致性的影响第48-54页
     ·样品温度一致性的模拟结果第48-52页
     ·温度一致性的试验验证第52-54页
   ·本章小结第54-55页
第4章 离子辐照与材料间隙扩散行为的长程耦合及机制分析第55-71页
   ·基体材料与脱碳层的制备第55-57页
     ·基体材料第55页
     ·脱碳层的制备第55-57页
   ·扩散试验参数的选择第57-59页
   ·离子辐照对碳在脱碳层中扩散行为的影响第59-68页
     ·氩离子辐照对柱状晶脱碳层中碳扩散动力学的长程作用第59-64页
     ·辐照能量和束流密度对柱状晶脱碳层中碳扩散行为的长程作用第64-66页
     ·氩离子辐照对等轴晶脱碳层中碳扩散动力学的长程作用第66-68页
   ·离子辐照与间隙扩散长程耦合的机理分析第68-70页
   ·本章小结第70-71页
第5章 离子辐照与材料置换扩散及表面偏聚行为的长程耦合及机制分析第71-115页
   ·基体材料与铜-镍扩散偶的制备第71-74页
     ·基体材料第71-72页
     ·铜-镍扩散偶的制备第72-74页
   ·扩散试验参数的选择第74-76页
   ·元素浓度分布曲线的校准与扩散系数的求解第76-79页
     ·浓度分布曲线的校准第76-78页
     ·扩散系数的求解第78-79页
   ·氩离子辐照对镍在单晶铜中扩散行为的长程作用第79-90页
     ·样品厚度对镍在单晶铜中扩散的影响第79-87页
     ·氩离子能量对镍在单晶铜中扩散的影响第87页
     ·氩离子束流密度对镍在单晶铜中对扩散的影响第87-89页
     ·离子辐照对扩散激活能和频率因子的长程作用第89-90页
   ·氩离子辐照对镍在柱状晶铜中扩散行为的长程作用第90-100页
   ·氩离子辐照对镍在多晶铜中扩散行为的影响规律第100-105页
     ·样品厚度对镍在多晶铜中扩散的影响第101-104页
     ·氩离子能量对镍在多晶铜中扩散的影响第104-105页
   ·氩离子辐照对铜在镍镀层表面偏聚行为的影响规律第105-107页
   ·离子辐照与置换扩散和表面偏聚长程耦合的机制分析第107-114页
     ·离子辐照对镀层组织及基体状态缺陷的影响规律第107-112页
     ·离子辐照与置换扩散长程耦合的机制分析第112-113页
     ·离子辐照与表面偏聚长程耦合的机制分析第113-114页
   ·本章小结第114-115页
结论第115-118页
参考文献第118-127页
攻读博士学位期间发表的学术论文第127-129页
致谢第129-130页
个人简历第130页

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