| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·微陀螺仪概述 | 第12页 |
| ·静电悬浮转子微陀螺设计和测控关键技术分析 | 第12-13页 |
| ·悬浮转子式微陀螺仪 | 第13-17页 |
| ·悬浮转子式微陀螺的分类和工作原理简介 | 第13-14页 |
| ·悬浮转子式微陀螺的特点 | 第14页 |
| ·磁悬浮转子微陀螺进展 | 第14-15页 |
| ·静电悬浮转子微陀螺进展 | 第15-17页 |
| ·静电悬浮转子微陀螺设计和测控关键技术分析 | 第17-20页 |
| ·静电悬浮转子微陀螺的设计仿真技术 | 第17-18页 |
| ·静电悬浮转子的微位移电容检测方法 | 第18-19页 |
| ·静电悬浮转子微陀螺的载波信号发生技术 | 第19-20页 |
| ·本文的研究意义和主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 静电悬浮微陀螺的结构及工作原理 | 第22-33页 |
| ·静电悬浮微陀螺的结构 | 第22-25页 |
| ·静电悬浮微陀螺工作原理 | 第25-32页 |
| ·旋转刚体转子基本理论 | 第25-27页 |
| ·悬浮转子的一般运动特性 | 第27-30页 |
| ·双输入轴微陀螺工作原理 | 第30-31页 |
| ·三轴线加速度计工作原理 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 静电悬浮微陀螺的工艺级和物理级建模仿真 | 第33-46页 |
| ·工艺级建模 | 第33-36页 |
| ·微陀螺空气阻尼分析 | 第36-38页 |
| ·理论基础 | 第36-37页 |
| ·微陀螺z 轴压膜阻尼分析 | 第37-38页 |
| ·微陀螺的电极电容有限元分析 | 第38-44页 |
| ·悬浮电极电容分析 | 第40-43页 |
| ·径向电极电容分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 静电悬浮微陀螺器件级和系统级建模仿真 | 第46-61页 |
| ·机电模型 | 第46-49页 |
| ·静电微陀螺的机电模型 | 第46-48页 |
| ·CoventorWare 中的机电模型 | 第48-49页 |
| ·基于 CoventorWare 的静电微陀螺系统级模型 | 第49-51页 |
| ·静电悬浮微陀螺的悬浮控制仿真 | 第51-56页 |
| ·静电悬浮微陀螺起支电压 | 第51-52页 |
| ·静电微陀螺的稳定悬浮控制 | 第52-55页 |
| ·斜面倾斜分析 | 第55-56页 |
| ·静电悬浮微陀螺的旋转仿真 | 第56-59页 |
| ·变电容旋转驱动的原理 | 第56-58页 |
| ·陀螺效应仿真 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 静电悬浮微陀螺的多路信号发生器 | 第61-71页 |
| ·多路同步DDS 原理 | 第61-62页 |
| ·DDS 基本原理 | 第61-62页 |
| ·DDS 同步原理 | 第62页 |
| ·静电悬浮陀螺的多路同步DDS 硬件 | 第62-65页 |
| ·AD9850 功能框图 | 第62-63页 |
| ·多路同步DDS 硬件 | 第63-65页 |
| ·静电悬浮陀螺的多路同步DDS 软件实现 | 第65-68页 |
| ·DDS 控制字及控制时序 | 第65页 |
| ·并行方式加载频率及相位控制字 | 第65-67页 |
| ·串行方式加载频率及相位控制字 | 第67-68页 |
| ·实验结果 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·全文总结 | 第71-72页 |
| ·研究展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第80页 |