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Co、Cr、Cu、Mn等过渡金属掺杂ZnO薄膜的合成与性能研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-12页
第一章 引言第12-46页
   ·引言第12-13页
   ·ZnO 的结构和性质第13-17页
     ·ZnO 的基本性质第13-14页
     ·ZnO 的晶体结构和基本性质第14-16页
     ·ZnO 的电子能带结构第16页
     ·ZnO 晶体中的缺陷第16-17页
   ·ZnO 的生长第17-22页
     ·ZnO 体单晶的生长第17-18页
     ·ZnO 薄膜的生长第18-21页
       ·脉冲激光沉积法第19页
       ·分子束外延法第19-20页
       ·金属有机化学气相沉积第20页
       ·溶胶凝胶方法第20-21页
       ·磁控溅射方法第21页
     ·ZnO 纳米结构的生长第21-22页
   ·ZnO 薄膜的应用第22-27页
     ·太阳能电池透明电极第23页
     ·气敏元件第23页
     ·声表面波器件第23-24页
     ·发光材料第24-26页
     ·稀磁半导体材料第26-27页
   ·ZnO 基稀磁半导体材料第27-37页
     ·稀磁半导体的研究意义第27-28页
     ·稀磁半导体的研究历史及现状第28-30页
     ·ZnO 基稀磁半导体微磁结构的计算模拟方法及磁性耦合机理第30-34页
       ·第一性原理计算方法第30-32页
       ·ZnO 基稀磁半导体的理论模拟研究进展第32页
       ·稀磁半导体磁性耦合机理研究进展第32-34页
     ·ZnO 基稀磁半导体的实验研究进展第34-37页
   ·本文的工作第37-38页
 参考文献第38-46页
第二章 样品制备与分析表征方法第46-60页
   ·实验装置及设备技术参数第46-47页
   ·样品的分析表征第47-59页
     ·膜厚测量第47-48页
     ·X 射线衍射(XRD)第48-49页
     ·拉曼光谱(Raman)第49-50页
     ·扫描电子显微镜(SEM)和能量色散X 射线分析(EDX)第50-52页
     ·透射电子显微镜(TEM)第52-53页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第53-55页
     ·光致发光第55-56页
     ·超导量子干涉仪(SQUID)第56-58页
     ·四探针电阻率测量第58-59页
     ·霍尔效应测试第59页
 参考文献第59-60页
第三章 Co 掺杂ZnO 薄膜的制备及结构和物理性质研究第60-76页
   ·Co 掺杂ZnO 薄膜的制备第60-62页
     ·基片清洗第60-61页
     ·薄膜沉积过程第61-62页
     ·Co 掺杂ZnO 薄膜的制备参数第62页
   ·Zn_(1-x)CoxO 薄膜的结构分析第62-67页
     ·Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的XRD 表征第62-64页
     ·Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的TEM 表征第64-66页
     ·Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的拉曼光谱第66-67页
   ·Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的光致发光特性第67-69页
   ·Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的磁学性质第69-72页
   ·本章小结第72-73页
 参考文献第73-76页
第四章 Cr 掺杂ZnO 薄膜的结构及磁学性质研究第76-85页
   ·Cr 掺杂ZnO 薄膜的制备第76-77页
   ·Zn_(1-x)CrxO 薄膜的结构分析第77-80页
     ·Zn_(1-x)CrxO 薄膜的XRD 表征第77-78页
     ·Zn_(1-x)CrxO 薄膜的TEM 表征第78-79页
     ·Zn_(1-x)CrxO 薄膜的X 射线光电子能谱(XPS)分析第79-80页
   ·Zn_(1-x)CrxO 薄膜的磁学性质第80-83页
   ·本章小结第83-84页
 参考文献第84-85页
第五章 Zn_(1-x)Cu_xO 以及Al、Cu 共掺杂ZnO 薄膜的结构及磁学性质研究第85-101页
   ·Cu 掺杂ZnO 薄膜的制备第85-86页
   ·Zn_(1-x)Cu_xO 薄膜的结构分析第86-91页
     ·Zn_(1-x)Cu_xO 薄膜的XRD 表征第86-87页
     ·Zn_(1-x)Cu_xO 薄膜的截面生长形貌第87-89页
     ·Zn_(1-x)Cu_xO 薄膜的拉曼光谱第89-91页
   ·Zn_(0.92)Cu_(0.08)O 薄膜的磁学性质第91-92页
   ·Al、Cu 共掺杂ZnO 薄膜的结构和磁学性质第92-98页
     ·Al、Cu 共掺杂ZnO 薄膜的制备第92-93页
     ·Zn_(0.89)Cu_(0.08)Al_(0.03)O 薄膜的结构分析第93-98页
   ·本章小结第98页
 参考文献第98-101页
第六章 Mn 掺杂ZnO 薄膜的结构及物理性质研究第101-116页
   ·Mn 掺杂ZnO 薄膜的制备第101页
   ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的结构分析第101-107页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的XRD 表征第102-103页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的截面生长形貌第103-105页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的拉曼光谱第105-106页
     ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的X 射线光电子能谱(XPS)分析第106-107页
   ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的光致发光特性第107-109页
   ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的磁学性质第109-111页
   ·载流子浓度对Mn 掺杂ZnO 薄膜磁学性质的影响第111-113页
   ·本章小结第113-114页
 参考文献第114-116页
第七章 结论与展望第116-119页
   ·本论文的主要结论第116-118页
   ·工作展望第118-119页
论文创新点第119-120页
博士期间发表的学术论文第120-122页
致谢第122-123页

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