| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 日盲紫外光探测器简介 | 第9页 |
| 1.2 紫外光探测器主要性能参数 | 第9-11页 |
| 1.3 紫外光探测器发展概述 | 第11-13页 |
| 1.4 MgZnO材料的基本性质 | 第13-14页 |
| 1.5 MgZnO紫外光探测器研究进展 | 第14-24页 |
| 1.6 MgZnO基日盲紫外探测目前存在的主要问题 | 第24页 |
| 1.7 论文的选题依据和主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 MgZnO探测器的制备工艺与表征手段 | 第26-34页 |
| 2.1 MgZnO紫外光探测器的制备工艺流程 | 第26-29页 |
| 2.1.1 MgZnO的制备-脉冲激光沉积(PLD) | 第26-27页 |
| 2.1.2 金(Au)电极层的制备-真空热蒸镀沉积 | 第27-28页 |
| 2.1.3 金插指电极的制备-光刻工艺 | 第28-29页 |
| 2.2 MgZnO薄膜的表征方法 | 第29-32页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第29-30页 |
| 2.2.2 表面轮廓扫描仪(台阶仪) | 第30页 |
| 2.2.3 紫外-可见透过光谱(UV－VIS) | 第30-31页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜(SEM) | 第31-32页 |
| 2.3 MgZnO紫外光探测器光响应测试系统 | 第32-34页 |
| 第3章 不同Mg含量MgZnO薄膜的制备及MgZnO紫外光响应特性的研究 | 第34-59页 |
| 3.1 石英衬底上不同Mg含量MgZnO薄膜紫外光响应特性研究 | 第34-44页 |
| 3.1.1 石英衬底上不同Mg含量靶材对MgZnO薄膜特性的影响 | 第35-40页 |
| 3.1.2 石英衬底上不同Mg含量MgZnO薄膜对其紫外光响应特性的影响 | 第40-44页 |
| 3.2 MgO衬底上不同Mg含量MgZnO薄膜紫外光响应特性研究 | 第44-51页 |
| 3.2.1 MgO衬底上不同Mg含量靶材对MgZnO薄膜特性的影响 | 第45-48页 |
| 3.2.2 MgO衬底上不同Mg含量MgZnO薄膜对其紫外光响应特性的影响 | 第48-51页 |
| 3.3 MgO/石英上MgZnO紫外光探测器光响应特性研究 | 第51-58页 |
| 3.3.1 不同衬底类型对MgZnO薄膜特性的影响 | 第52-55页 |
| 3.3.2 MgO/石英MgZnO紫外光响应特性的研究 | 第55-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 不同生长条件下MgZnO薄膜的制备及MgZnO紫外光响应特性的研究 | 第59-65页 |
| 4.1 不同温度和氧气压强条件下MgZnO薄膜的制备 | 第59页 |
| 4.2 不同温度和氧气压强对MgZnO薄膜性质的影响 | 第59-63页 |
| 4.3 不同温度和氧气压强对MgZnO薄膜紫外光响应特性的影响 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 Ag纳米颗粒对MgZnO紫外光探测器光响应特性的影响 | 第65-74页 |
| 5.1 金属Ag纳米颗粒的实现 | 第65-66页 |
| 5.2 MgZnO薄膜的制备与表征 | 第66-68页 |
| 5.3 Ag纳米颗粒对MgZnO紫外光响应特性的影响 | 第68-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第6章 论文总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 论文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 论文展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目和研究成果 | 第83页 |
