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范德华异质结紫外光电探测器的设计与性能研究

摘要第4-7页
Abstract第7-10页
1 绪论第14-49页
    1.1 超薄二维纳米材料简介第14-15页
    1.2 二维过渡金属硫化物(TMDs)第15-29页
        1.2.1 二维TMDs材料概述第15-20页
        1.2.2 二硫化钼(MoS_2)的结构和性质第20-22页
        1.2.3 二硒化铂(PtSe_2)的结构和性质第22-23页
        1.2.4 二维MoS_2、PtSe_2 薄膜的应用第23-29页
    1.3 基于二维TMDs的光电探测器第29-39页
        1.3.1 基于二维TMDs的光电导型探测器第30-34页
        1.3.2 基于二维TMDs的光电二极管型探测器第34-39页
    1.4 宽禁带半导体在光电探测器中的应用第39-41页
    1.5 本课题的研究思路和内容第41-42页
    参考文献第42-49页
2 二维TMDs薄膜的制备及表征第49-72页
    2.1 二维TMDs薄膜的制备方法第49-57页
        2.1.1 机械剥离法第49-50页
        2.1.2 锂离子插层法第50-51页
        2.1.3 液相超声法第51-52页
        2.1.4 分子束外延法第52-53页
        2.1.5 化学气相沉积法第53-54页
        2.1.6 两步热分解法第54-56页
        2.1.7 硫/硒化法第56-57页
    2.2 大面积二维MoS_2 薄膜的制备和表征第57-64页
        2.2.1 实验所用的仪器和试剂第57-58页
        2.2.2 二维MoS_2 薄膜的制备第58-60页
        2.2.3 二维MoS_2 薄膜的表征第60-64页
    2.3 大面积二维PtSe_2 薄膜的制备和表征第64-68页
        2.3.1 二维PtSe_2 薄膜的制备第64-65页
        2.3.2 二维PtSe_2 薄膜的表征第65-68页
    2.4 本章小结第68-69页
    参考文献第69-72页
3 MoS_2/GaN异质结紫外光电探测器第72-90页
    3.1 引言第72-73页
    3.2 MoS_2/GaN异质结紫外光电探测器的制备第73-75页
    3.3 MoS_2/GaN异质结紫外光电探测器的性能表征第75-85页
        3.3.1 测试所用的主要仪器第75-76页
        3.3.2 MoS_2/GaN异质结紫外光电探测器的性能表征第76-85页
    3.4 本章小结第85-86页
    参考文献第86-90页
4 PtSe_2/GaN异质结紫外光电探测器第90-106页
    4.1 引言第90-91页
    4.2 PtSe_2/GaN异质结紫外光电探测器的制备第91-92页
    4.3 PtSe_2/GaN异质结紫外光电探测器的性能表征第92-101页
    4.4 本章小结第101-102页
    参考文献第102-106页
5 MoS_2/β-Ga_2O_3 异质结日盲光电探测器第106-121页
    5.1 引言第106-108页
    5.2 MoS_2/β-Ga_2O_3 异质结日盲光电探测器的制备第108-110页
    5.3 MoS_2/β-Ga_2O_3 异质结日盲光电探测器的性能表征第110-117页
    5.4 本章小结第117页
    参考文献第117-121页
6 总结和展望第121-123页
    6.1 总结第121-122页
    6.2 展望第122-123页
博士期间完成的论文情况第123-124页
致谢第124页

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