| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 纳机电系统概述 | 第9-12页 |
| 1.2.1 微/纳机电系统简介 | 第9-10页 |
| 1.2.2 NEMS器件主要特性 | 第10-12页 |
| 1.3 课题的研究背景 | 第12-15页 |
| 1.3.1 水环境中重金属离子检测方法现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 基于纳米谐振梁传感器研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 用于重金属离子检测的硅基纳米谐振梁结构设计 | 第17-29页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 硅基纳米谐振梁微小质量检测原理 | 第17-19页 |
| 2.2.1 Euler-Bernoulli梁理论基础 | 第17-18页 |
| 2.2.2 基于梁振动的微小质量检测原理 | 第18-19页 |
| 2.3 硅基纳米谐振梁的静电驱动 | 第19-22页 |
| 2.4 硅基纳米谐振梁的压阻检测 | 第22-24页 |
| 2.5 硅基纳米谐振梁结构设计 | 第24-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 硅基纳米梁谐振频率的分子动力学模拟 | 第29-35页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 仿真模型 | 第29页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第29-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第四章 硅基纳米梁表面修饰材料的制备与表征 | 第35-41页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 实验部分 | 第35-38页 |
| 4.2.1 制备原理 | 第35-36页 |
| 4.2.2 仪器与试剂 | 第36-37页 |
| 4.2.3 制备过程 | 第37-38页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第38-39页 |
| 4.3.1 带巯基介孔硅纳米颗粒形态 | 第38页 |
| 4.3.2 硅金复合片表面介孔硅纳米颗粒修饰形态 | 第38-39页 |
| 4.3.3 介孔硅纳米颗粒对Pb~(2+)的吸附特性 | 第39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第五章 用于重金属离子检测的硅基纳米梁加工及振动特性的实验测量 | 第41-59页 |
| 5.1 引言 | 第41页 |
| 5.2 硅基纳米梁结构的版图设计 | 第41-43页 |
| 5.2.1 纳米梁 | 第41-42页 |
| 5.2.2 P型重掺杂区 | 第42页 |
| 5.2.3 驱动检测电极及通孔区 | 第42-43页 |
| 5.2.4 纳米梁形状刻蚀区 | 第43页 |
| 5.3 硅基纳米梁工艺设计 | 第43-52页 |
| 5.3.1 整体工艺流程 | 第43-45页 |
| 5.3.2 重点工艺介绍 | 第45-50页 |
| 5.3.3 梁的释放工艺问题总结 | 第50-52页 |
| 5.4 硅基纳米谐振梁样品 | 第52-53页 |
| 5.5 基于显微激光多普勒的纳米梁振动特性测试 | 第53-57页 |
| 5.5.1 Polytec激光多普勒测振技术概述 | 第53-54页 |
| 5.5.2 实验方案 | 第54-55页 |
| 5.5.3 实验结果与分析 | 第55-57页 |
| 5.6 本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 工作总结 | 第59页 |
| 6.2 工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
