| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 太阳能电池简介 | 第13-17页 |
| 1.2.1 太阳能电池的工作原理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 太阳能电池的分类 | 第14-17页 |
| 1.3 CZTS薄膜太阳能电池简介 | 第17-19页 |
| 1.3.1 CZTS薄膜太阳能电池的结构 | 第17-19页 |
| 1.3.2 CZTS薄膜太阳能电池的研究进展 | 第19页 |
| 1.4 CZTS薄膜太阳能电池关键膜层的研究现状 | 第19-28页 |
| 1.4.1 吸收层CZTS材料的研究现状 | 第19-26页 |
| 1.4.2 窗口层ZnO基薄膜的研究现状 | 第26-28页 |
| 1.5 本论文的主要研究意义和工作内容 | 第28-30页 |
| 第二章 CZTS太阳能电池关键膜层的制备及表征技术 | 第30-37页 |
| 2.1 实验试剂和设备 | 第30-31页 |
| 2.2 实验工艺 | 第31-35页 |
| 2.2.1 吸收层CZTS粉体及薄膜的制备 | 第31-33页 |
| 2.2.2 窗口层ZnO基薄膜的制备 | 第33-35页 |
| 2.2.3 CZTS薄膜太阳能电池的磁控溅射试制备 | 第35页 |
| 2.3 样品表征 | 第35-37页 |
| 2.3.1 部分表征设备图片 | 第36-37页 |
| 第三章 CZTS粉体的合成与性能研究 | 第37-52页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 CZTS粉体的水热法制备研究 | 第37-39页 |
| 3.2.1 物相结构分析 | 第37-38页 |
| 3.2.2 化学成分分析 | 第38-39页 |
| 3.3 CZTS粉体的机械化学合成研究 | 第39-51页 |
| 3.3.1 不同球磨条件下制备CZTS粉体的物相分析 | 第39-42页 |
| 3.3.2 烧结温度对CZTS粉体的烧结性能影响的研究 | 第42-46页 |
| 3.3.3 不同球磨条件下制备的CZTS粉体的烧结性能研究 | 第46-51页 |
| 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 CZTS薄膜的单靶磁控溅射沉积与性能研究 | 第52-88页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 基底温度对CZTS薄膜结构及性能的影响 | 第52-62页 |
| 4.2.1 薄膜的化学组分分析 | 第53-54页 |
| 4.2.2 物相结构分析 | 第54-58页 |
| 4.2.3 表面形貌分析 | 第58-60页 |
| 4.2.4 光学性能分析 | 第60-61页 |
| 4.2.5 电学性能分析 | 第61-62页 |
| 4.3 溅射气压对CZTS薄膜结构及性能的影响 | 第62-74页 |
| 4.3.1 薄膜的沉积速率与化学组分分析 | 第63-65页 |
| 4.3.2 物相结构分析 | 第65-70页 |
| 4.3.3 表面形貌分析 | 第70-72页 |
| 4.3.4 电学性能分析 | 第72-73页 |
| 4.3.5 光学性能分析 | 第73-74页 |
| 4.4 溅射功率对CZTS薄膜结构与性能的影响 | 第74-81页 |
| 4.4.1 薄膜的沉积速率与化学组分分析 | 第75-76页 |
| 4.4.2 物相结构分析 | 第76-78页 |
| 4.4.3 表面形貌分析 | 第78-80页 |
| 4.4.4 电学性能分析 | 第80页 |
| 4.4.5 光学性能分析 | 第80-81页 |
| 4.5 直流脉冲电源脉冲频率对CZTS薄膜结构与成分的影响 | 第81-87页 |
| 4.5.1 薄膜的沉积速率与化学组分分析 | 第82-83页 |
| 4.5.2 物相结构分析 | 第83-85页 |
| 4.5.3 表面形貌分析 | 第85-87页 |
| 本章小结 | 第87-88页 |
| 第五章 窗口层ZnO基薄膜的制备及性能研究 | 第88-124页 |
| 5.1 引言 | 第88页 |
| 5.2 溶胶-凝胶法制备BZO薄膜 | 第88-97页 |
| 5.2.1 掺杂浓度对薄膜结构,形貌和光电性能的影响 | 第88-93页 |
| 5.2.2 热解温度对薄膜结构,形貌和光电性能的影响 | 第93-97页 |
| 5.3 磁控溅射制备BZO薄膜 | 第97-117页 |
| 5.3.1 掺杂浓度对薄膜结构,形貌及光电性能的影响 | 第98-105页 |
| 5.3.2 基底温度对薄膜结构,形貌及光电性能的影响 | 第105-111页 |
| 5.3.3 溅射功率对薄膜结构,形貌及光电性能的影响 | 第111-117页 |
| 5.4 i-ZnO薄膜的制备与研究 | 第117-123页 |
| 5.4.1 基底温度对ZnO结构,形貌和光电性能的影响 | 第117-121页 |
| 5.4.2 O_2/(O_2+Ar)比对ZnO结构和光电性能的影响 | 第121-123页 |
| 本章小结 | 第123-124页 |
| 第六章 CZTS薄膜太阳能电池的磁控溅射试制备 | 第124-128页 |
| 6.1 引言 | 第124页 |
| 6.2 CZTS薄膜太阳能电池的试制备 | 第124-126页 |
| 6.3 CZTS薄膜太阳能电池的光伏性能分析 | 第126-127页 |
| 本章小结 | 第127-128页 |
| 总结与展望 | 第128-130页 |
| 本文的特色与创新之处 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-137页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第137-138页 |
| 致谢 | 第138页 |
