冶金法提纯工业硅的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-26页 |
| ·立题背景 | 第8-10页 |
| ·光伏能源——21世纪最重要的新能源 | 第8页 |
| ·光伏产业的基石——太阳能级硅 | 第8-10页 |
| ·硅的性质及工业硅中的杂质 | 第10-18页 |
| ·硅的性质 | 第10-12页 |
| ·工业硅中的主要杂质 | 第12-18页 |
| ·高纯多晶硅的制备技术 | 第18-25页 |
| ·化学法制备高纯多晶硅 | 第18-20页 |
| ·冶金法制备高纯多晶硅 | 第20-25页 |
| ·本文研究目的及内容 | 第25-26页 |
| 2 工业硅酸洗 | 第26-31页 |
| ·酸洗原理 | 第26-27页 |
| ·酸洗 | 第27-30页 |
| ·用酸种类的确定 | 第27-28页 |
| ·酸洗方式对酸洗结果的影响 | 第28-29页 |
| ·实验规模工业硅酸洗 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 真空感应熔炼与定向凝固 | 第31-39页 |
| ·实验原理 | 第31-32页 |
| ·感应熔炼原理 | 第31页 |
| ·定向凝固提纯原理 | 第31-32页 |
| ·实验 | 第32-33页 |
| ·实验结果与分析 | 第33-38页 |
| ·真空熔炼挥发物分析 | 第33-34页 |
| ·定向凝固铸锭组织形貌 | 第34-35页 |
| ·定向凝固铸锭金属杂质分析 | 第35页 |
| ·铸造多晶硅铸锭的内部缺陷 | 第35-37页 |
| ·铸造多晶硅铸锭的表面质量 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 电子束精炼提纯 | 第39-47页 |
| ·电子束提纯原理 | 第39-41页 |
| ·电子枪工作原理 | 第39-40页 |
| ·真空提纯原理 | 第40-41页 |
| ·工业硅精炼实验 | 第41-42页 |
| ·电子束精炼结果分析 | 第42-45页 |
| ·硅饼组织分析 | 第42-43页 |
| ·硅饼成分分析 | 第43-45页 |
| ·电子束提纯的影响因素 | 第45-46页 |
| ·真空度 | 第45-46页 |
| ·精炼温度 | 第46页 |
| ·杂质在熔池中的扩散速度 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 感应熔炼造渣 | 第47-53页 |
| ·造渣原理 | 第47-48页 |
| ·实验 | 第48页 |
| ·实验结果与分析 | 第48-52页 |
| ·熔炼造渣直接凝固 | 第48-51页 |
| ·熔炼造渣与定向凝固 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
