| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 压电驱动器的国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 压电驱动电源的国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4 国内外研究现状总结 | 第16-17页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 多梁纵振复合型压电驱动器的构型设计与仿真分析 | 第18-34页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 压电驱动器的构型设计 | 第18-23页 |
| 2.2.1 基本构型设计 | 第18-19页 |
| 2.2.2 结构设计 | 第19-22页 |
| 2.2.3 装配流程设计 | 第22-23页 |
| 2.3 压电驱动器的激励方法和致动原理的分析 | 第23-25页 |
| 2.3.1 高频谐振激励方法 | 第23-24页 |
| 2.3.2 高频步进激励方法 | 第24-25页 |
| 2.4 压电驱动器的有限元仿真分析 | 第25-31页 |
| 2.4.1 有限元参数化模型 | 第25-27页 |
| 2.4.2 模态分析和参数敏感度分析 | 第27-30页 |
| 2.4.3 瞬态分析 | 第30-31页 |
| 2.5 压电驱动器的特点分析 | 第31-33页 |
| 2.5.1 结构的特点分析 | 第31-32页 |
| 2.5.2 耦合模态的特点分析 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 压电驱动电源及控制系统的设计 | 第34-48页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 驱动电源的理论分析 | 第34-37页 |
| 3.2.1 电源的指标要求 | 第34页 |
| 3.2.2 电源的总体设计 | 第34-36页 |
| 3.2.3 电源的特性分析 | 第36-37页 |
| 3.3 驱动电源的参数设计与仿真校验 | 第37-43页 |
| 3.3.1 电路模块的参数设计 | 第37-40页 |
| 3.3.2 高频变压器的参数设计 | 第40-41页 |
| 3.3.3 整体电路的仿真校验 | 第41-43页 |
| 3.4 驱动电源的PCB制作和实验测试 | 第43-45页 |
| 3.5 驱动控制系统的搭建 | 第45-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 多梁纵振复合型压电驱动器的实验测试 | 第48-61页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 样机的制作和基本特性测试 | 第48-51页 |
| 4.2.1 样机的实物制作 | 第48-49页 |
| 4.2.2 样机的阻抗特性测试 | 第49-50页 |
| 4.2.3 样机的振动特性测试 | 第50-51页 |
| 4.3 样机的机械输出特性测试 | 第51-56页 |
| 4.3.1 实验测试平台 | 第51-52页 |
| 4.3.2 高频谐振模式下机械输出特性测试 | 第52-54页 |
| 4.3.3 高频步进模式下机械输出特性测试 | 第54-56页 |
| 4.4 样机的速度开环响应和闭环响应特性测试 | 第56-59页 |
| 4.4.1 速度响应的测试方法 | 第56-57页 |
| 4.4.2 阶跃信号的速度响应 | 第57-58页 |
| 4.4.3 正弦信号的速度响应 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |