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高温合金GH4169的“电解—约束刻蚀”复合电化学加工研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
第一章 绪论第8-23页
    1.1 发展高温合金的意义第8-9页
    1.2 高温合金的加工性能概述第9页
    1.3 电解加工第9-11页
    1.4 复合电解加工技术第11-14页
        1.4.1 电解电火花复合加工第11-12页
        1.4.2 电解光整复合加工第12-13页
        1.4.3 超声电解复合加工第13-14页
    1.5 现代微电化学加工的种类原理与应用第14-21页
        1.5.1 掩膜微细电解加工第14页
        1.5.2 LIGA技术第14-16页
        1.5.3 3D电化学加工第16-17页
        1.5.4 扫描探针显微技术第17-18页
        1.5.5 EFAB技术第18-19页
        1.5.6 约束刻蚀剂层技术原理第19-21页
    1.6 本文主要研究内容第21-23页
第二章 实验方法第23-31页
    2.1 实验药品及材料第23-24页
        2.1.1 实验所需的各类药品第23页
        2.1.2 实验研究的加工材料种类及其预处理第23-24页
        2.1.3 实验所需其他材料与装置第24页
    2.2 实验研究的电极制作第24-26页
        2.2.1 Pt半球工具电极的制备第25页
        2.2.2 被加工件的制备第25-26页
    2.3 加工系统第26-27页
    2.4 加工的电源设备第27-28页
    2.5 电解液供给与电解产物排出的方式及设备第28-29页
    2.6 电解—约束刻蚀复合加工复合方式第29-30页
    2.7 电解—约束刻蚀复合加工工艺步骤第30-31页
第三章 高温合金约束刻蚀体系的研究和探讨第31-37页
    3.1 高温合金约束刻蚀体系的选择第31页
    3.2 高温合金约束刻蚀体系的电化学研究第31-36页
        3.2.1 塔菲尔极化曲线分析第31-33页
        3.2.2 高温合金在腐蚀体系中的失重实验第33-34页
        3.2.3 循环伏安曲线分析第34-36页
    3.3 结论第36-37页
第四章 高温合金的电解—约束刻蚀复合加工研究过程第37-55页
    4.1 前言第37-38页
    4.2 电解—约束刻蚀加工复合电解液的筛选第38-54页
        4.2.1 单一电解液组成的加工实验讨论第38-41页
        4.2.2 电解—约束刻蚀复合电解液体系的筛选第41-44页
        4.2.3 复合电解液的单因素实验第44-54页
        4.2.4 表面活性剂对电解—约束刻蚀复合加工的影响第54页
    4.3 复合电解液配方的确定第54-55页
第五章 不同电源的电解—约束刻蚀复合加工的研究第55-64页
    5.1 前言第55页
    5.2 直流电源下单纯的电解加工实验第55-56页
    5.3 脉冲电源下单纯的电解加工实验第56-57页
    5.4 脉冲电源下电解—约束刻蚀复合加工实验第57-62页
        5.4.1 占空比对复合电解加工的影响第58-60页
        5.4.2 脉冲电压对复合电解加工的影响第60-62页
    5.5 复合加工实验第62页
    5.6 结论第62-64页
第六章 结论与展望第64-66页
    6.1 结论第64-65页
    6.2 研究展望第65-66页
参考文献第66-70页
致谢第70-71页

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