摘要 | 第3-4页 |
ABSTRACT | 第4-5页 |
第一章 绪论 | 第8-23页 |
1.1 发展高温合金的意义 | 第8-9页 |
1.2 高温合金的加工性能概述 | 第9页 |
1.3 电解加工 | 第9-11页 |
1.4 复合电解加工技术 | 第11-14页 |
1.4.1 电解电火花复合加工 | 第11-12页 |
1.4.2 电解光整复合加工 | 第12-13页 |
1.4.3 超声电解复合加工 | 第13-14页 |
1.5 现代微电化学加工的种类原理与应用 | 第14-21页 |
1.5.1 掩膜微细电解加工 | 第14页 |
1.5.2 LIGA技术 | 第14-16页 |
1.5.3 3D电化学加工 | 第16-17页 |
1.5.4 扫描探针显微技术 | 第17-18页 |
1.5.5 EFAB技术 | 第18-19页 |
1.5.6 约束刻蚀剂层技术原理 | 第19-21页 |
1.6 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
第二章 实验方法 | 第23-31页 |
2.1 实验药品及材料 | 第23-24页 |
2.1.1 实验所需的各类药品 | 第23页 |
2.1.2 实验研究的加工材料种类及其预处理 | 第23-24页 |
2.1.3 实验所需其他材料与装置 | 第24页 |
2.2 实验研究的电极制作 | 第24-26页 |
2.2.1 Pt半球工具电极的制备 | 第25页 |
2.2.2 被加工件的制备 | 第25-26页 |
2.3 加工系统 | 第26-27页 |
2.4 加工的电源设备 | 第27-28页 |
2.5 电解液供给与电解产物排出的方式及设备 | 第28-29页 |
2.6 电解—约束刻蚀复合加工复合方式 | 第29-30页 |
2.7 电解—约束刻蚀复合加工工艺步骤 | 第30-31页 |
第三章 高温合金约束刻蚀体系的研究和探讨 | 第31-37页 |
3.1 高温合金约束刻蚀体系的选择 | 第31页 |
3.2 高温合金约束刻蚀体系的电化学研究 | 第31-36页 |
3.2.1 塔菲尔极化曲线分析 | 第31-33页 |
3.2.2 高温合金在腐蚀体系中的失重实验 | 第33-34页 |
3.2.3 循环伏安曲线分析 | 第34-36页 |
3.3 结论 | 第36-37页 |
第四章 高温合金的电解—约束刻蚀复合加工研究过程 | 第37-55页 |
4.1 前言 | 第37-38页 |
4.2 电解—约束刻蚀加工复合电解液的筛选 | 第38-54页 |
4.2.1 单一电解液组成的加工实验讨论 | 第38-41页 |
4.2.2 电解—约束刻蚀复合电解液体系的筛选 | 第41-44页 |
4.2.3 复合电解液的单因素实验 | 第44-54页 |
4.2.4 表面活性剂对电解—约束刻蚀复合加工的影响 | 第54页 |
4.3 复合电解液配方的确定 | 第54-55页 |
第五章 不同电源的电解—约束刻蚀复合加工的研究 | 第55-64页 |
5.1 前言 | 第55页 |
5.2 直流电源下单纯的电解加工实验 | 第55-56页 |
5.3 脉冲电源下单纯的电解加工实验 | 第56-57页 |
5.4 脉冲电源下电解—约束刻蚀复合加工实验 | 第57-62页 |
5.4.1 占空比对复合电解加工的影响 | 第58-60页 |
5.4.2 脉冲电压对复合电解加工的影响 | 第60-62页 |
5.5 复合加工实验 | 第62页 |
5.6 结论 | 第62-64页 |
第六章 结论与展望 | 第64-66页 |
6.1 结论 | 第64-65页 |
6.2 研究展望 | 第65-66页 |
参考文献 | 第66-70页 |
致谢 | 第70-71页 |