| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 论文研究背景 | 第8-13页 |
| 1.1.1 可调谐光滤波器研究现状 | 第8-10页 |
| 1.1.2 二元光学 | 第10-11页 |
| 1.1.3 导模共振效应 | 第11-12页 |
| 1.1.4 氮化镓与MEMS集成的可调滤波器 | 第12-13页 |
| 1.2 导模共振滤波器件研究进展 | 第13-16页 |
| 1.3 本论文组成和主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 基于导模共振效应的分析方法 | 第18-27页 |
| 2.1 光栅衍射数值方法 | 第18页 |
| 2.2 严格耦合波理论 | 第18-24页 |
| 2.3 等效介质理论 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 氮化镓介质光栅共振腔理论分析及仿真 | 第27-45页 |
| 3.1 氮化镓的基本性质 | 第27-29页 |
| 3.1.1 氮化镓的基本结构 | 第27-28页 |
| 3.1.2 氮化镓的物理化学性质 | 第28-29页 |
| 3.1.3 氮化镓的电光特性 | 第29页 |
| 3.2 光栅导模共振腔理论分析 | 第29-33页 |
| 3.2.1 单层亚波长光栅分析 | 第30-32页 |
| 3.2.2 多层亚波长光栅分析 | 第32-33页 |
| 3.3 单层氮化镓介质光栅仿真分析及单一共振波长滤波器设计 | 第33-38页 |
| 3.3.1 强调制光栅导模共振腔仿真及设计 | 第33-36页 |
| 3.3.2 弱调制光栅导模共振腔仿真及设计 | 第36-38页 |
| 3.4 带抗反射层的氮化镓介质光栅滤波器仿真及设计 | 第38-41页 |
| 3.4.1 覆盖型滤波器 | 第38-39页 |
| 3.4.2 浮雕型滤波器 | 第39-40页 |
| 3.4.3 三层波导型滤波器 | 第40-41页 |
| 3.5 共振条件对导模共振的影响 | 第41-44页 |
| 3.5.1 偏振性影响 | 第41-42页 |
| 3.5.2 光栅层厚度对共振波长影响 | 第42-43页 |
| 3.5.3 光栅占空比对带宽影响 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 可调谐导模共振滤波器设计 | 第45-61页 |
| 4.1 光栅周期调谐氮化镓导模共振滤波器设计 | 第45-51页 |
| 4.1.1 光栅周期对导模共振波长的影响分析 | 第45-47页 |
| 4.1.2 光栅周期可调的实现(梳状致动器原理) | 第47-48页 |
| 4.1.3 单层光栅周期调谐滤波器设计 | 第48-51页 |
| 4.2 入射光角度调谐氮化镓导模共振滤波器设计 | 第51-60页 |
| 4.2.1 入射光角度对导模共振的影响分析 | 第52-54页 |
| 4.2.2 入射角度可调的实现(平行平板电容式致动器原理) | 第54-56页 |
| 4.2.3 浮雕型入射光调谐滤波器设计 | 第56-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 论文总结 | 第61-62页 |
| 5.2 进一步的工作 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
