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多晶硅太阳电池制作及氧化亚铜薄膜制备研究

摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第1章 绪论第9-13页
   ·中国的能源形势和发展第9-10页
   ·太阳电池的研究概况第10-11页
   ·本论文的研究内容和意义第11-13页
第2章 太阳电池的原理和结构第13-31页
   ·太阳电池的工作原理第13-20页
     ·半导体p-n结原理第13-18页
     ·p-n结的光生伏特效应第18-19页
     ·太阳电池的电流-电压特性第19-20页
   ·太阳电池的输出参数第20-22页
   ·太阳电池效率的极限第22-23页
   ·太阳电池效率的损失第23-26页
     ·光学损失第24页
     ·复合的损失第24-25页
     ·寄生电阻造成的损失第25-26页
   ·异质结太阳电池的原理第26-27页
   ·几种高效太阳电池结构第27-31页
     ·激光刻槽-埋栅太阳电池第27页
     ·钝化发射极和背表面电池第27-28页
     ·异质结本征薄层太阳电池第28-29页
     ·选择性发射极太阳电池第29-31页
第3章 多晶硅太阳电池的实验设计第31-45页
   ·多晶硅太阳电池的工业化生产工艺第31-40页
     ·多晶硅表面减反射及织构原理第31-32页
     ·扩散原理第32-35页
     ·等离子刻蚀去周边和去PSG第35-36页
     ·氮化硅薄膜的减反射和钝化原理第36-39页
     ·丝网印刷和烧结第39-40页
   ·多晶硅太阳电池的实验设计第40-45页
     ·酸腐多晶硅的表面织构研究第40-41页
     ·方阻阻值对电池性能影响的研究第41页
     ·等离子边缘刻蚀的研究第41页
     ·等离子增强化学气相沉积SiN_x的研究第41页
     ·铝背场对多晶硅太阳电池性能影响的研究第41-42页
     ·说明第42-45页
第4章 多晶硅太阳电池的实验结果和分析第45-59页
   ·酸腐多晶硅表面织构研究的实验结果和分析第45-50页
     ·腐蚀时间对多晶硅表面织构的影响研究第46-47页
     ·腐蚀液配比浓度对多晶硅表面织构的影响研究第47-49页
     ·多孔硅对多晶硅表面织构的影响研究第49页
     ·小结第49-50页
   ·方块电阻阻值对电池性能影响研究的实验结果和分析第50-51页
     ·方阻阻值对电池性能影响的实验结果和分析第50-51页
     ·讨论第51页
   ·等离子边缘刻蚀研究的实验结果和分析第51-53页
     ·刻蚀实验结果和分析第52-53页
     ·讨论第53页
   ·等离子增强化学气相沉积SIN_x研究的实验结果和分析第53-56页
     ·SiN_x的去膜实验结果第53-54页
     ·SiN_x的红外吸收光谱研究实验结果第54-55页
     ·不同工艺沉积的SiN_x薄膜对电池性能的影响第55页
     ·讨论第55-56页
   ·铝背场对太阳电池性能影响研究的实验结果和分析第56-59页
第5章 氧化亚铜薄膜的制备及其特性研究第59-69页
   ·氧化亚铜薄膜的制备第59-62页
     ·衬底准备第59-60页
     ·电阻蒸发法第60-61页
     ·实验装置第61-62页
     ·退火处理第62页
   ·氧化亚铜薄膜的测试研究第62-67页
     ·XRD测试与分析第62-63页
     ·EDX测试与分析第63-64页
     ·AFM测试与分析第64页
     ·四探针测试与分析第64-65页
     ·透射谱测试与分析第65-67页
   ·结论第67-69页
结论第69-71页
参考文献第71-75页
致谢第75-77页
攻读学位期间的研究成果第77页

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