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图案化氧化锌纳米棒阵列的构筑及其在不同基底上的转移

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第11-33页
    1.1 引言第11-13页
    1.2 氧化锌纳米线、棒的生长技术第13-17页
        1.2.1 气相沉积法第13-15页
        1.2.2 电化学沉积法第15页
        1.2.3 水热法第15-17页
        1.2.4 其他方法第17页
    1.3 图案化 ZnO 纳米阵列的研究现状第17-23页
        1.3.1 纳米压印第18-19页
        1.3.2 光刻技术第19-20页
        1.3.3 胶体球刻蚀技术第20-22页
        1.3.4 电子束刻蚀技术第22-23页
    1.4 垂直转移纳米棒阵列的方法第23-25页
    1.5 目前存在的主要问题及主要研究内容第25-29页
        1.5.1 目前存在的主要问题第25-26页
        1.5.2 论文研究的目的、思路和主要内容第26-29页
    参考文献第29-33页
第二章 图案化 ZnO 纳米棒阵列在不同基底上的构筑第33-47页
    2.1 引言第33-34页
    2.2 实验部分第34-36页
        2.2.1 试剂和仪器第34页
        2.2.2 沉积 ZnO 种子层第34-35页
        2.2.3 旋涂电子束刻蚀胶第35页
        2.2.4 通过电子束刻蚀技术构筑图案化结构第35页
        2.2.5 水热生长 ZnO第35-36页
    2.3 结果与讨论第36-44页
        2.3.1 种子层形貌和图案化孔洞表征第36-38页
        2.3.2 在 ITO 基底上生长 ZnO 纳米棒阵列第38-39页
        2.3.3 在硅片上生长 ZnO 纳米棒阵列第39-40页
        2.3.4 在氧化铝基底上生长 ZnO 纳米棒阵列第40-42页
        2.3.5 ZnO 膜上生长 ZnO 纳米棒阵列第42-44页
    2.4 本章小结第44-45页
    参考文献第45-47页
第三章 ZnO 纳米棒的形貌调控第47-57页
    3.1 引言第47-48页
    3.2 实验部分第48页
        3.2.1 试剂和仪器第48页
        3.2.2 调控 ZnO 纳米棒的形貌第48页
    3.3 结果与讨论第48-53页
        3.3.1 控制前驱体浓度生长 ZnO 纳米棒第49-50页
        3.3.2 控制温度生长 ZnO 纳米棒第50页
        3.3.3 控制时间生长 ZnO 纳米棒第50-52页
        3.3.4 添加 PEI 和氨水调控生长 ZnO 纳米棒第52-53页
    3.4 本章小结第53-55页
    参考文献第55-57页
第四章 图案化 ZnO 纳米棒阵列的垂直转移及其光电性质第57-65页
    4.1 引言第57-58页
    4.2 实验部分第58-59页
        4.2.1 样品的测试与表征第58页
        4.2.2 旋涂电子束刻蚀胶第58页
        4.2.3 RIE 刻蚀出 ZnO 纳米棒顶端第58-59页
        4.2.4 纳米压印辅助银胶粘附第59页
        4.2.5 剥离阵列第59页
    4.3 结果与讨论第59-64页
        4.3.1 ZnO 纳米棒阵列的转移第60-63页
        4.3.2 I-V 测试第63-64页
    4.4 本章小结第64-65页
参考文献第65-69页
攻读学位期间发表的学术论文目录第69-71页
致谢第71-72页

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