| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·MEMS电容式加速度计研究背景 | 第8-9页 |
| ·MEMS电容式加速度计研究现状 | 第9-11页 |
| ·本文的主要工作和内容安排 | 第11-14页 |
| 第二章 CMOS MEMS加速度计建模 | 第14-34页 |
| ·CMOS MEMS工艺主要流程 | 第14-16页 |
| ·CMOS MEMS加速度计设计 | 第16-24页 |
| ·CMOS MEMS加速度计结构 | 第16-18页 |
| ·CMOS MEMS微结构弯曲匹配方法 | 第18-20页 |
| ·加速度检测原理 | 第20-21页 |
| ·弹簧设计 | 第21-23页 |
| ·阻尼和布朗噪声 | 第23-24页 |
| ·电容检测和静电执行 | 第24-31页 |
| ·CMOS MEMS加速度计的电容模型 | 第24-27页 |
| ·电容检测原理和加速度计灵敏度模型 | 第27-29页 |
| ·静电执行机构 | 第29-30页 |
| ·静电致弹簧软化现象 | 第30-31页 |
| ·CMOS MEMS加速度计行为级模型 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 CMOS MEMS加速度计检测电路噪声及非线性因素分析 | 第34-58页 |
| ·检测电路噪声分析 | 第34-44页 |
| ·检测电路噪声源分析 | 第35-36页 |
| ·检测电路总噪声 | 第36-39页 |
| ·检测电路1/f噪声和热噪声优化 | 第39-42页 |
| ·检测电路热噪声优化 | 第42-44页 |
| ·电容检测电路结构和噪声叠加 | 第44-51页 |
| ·电容检测电路结构 | 第44-47页 |
| ·噪声性能分析和比较 | 第47-51页 |
| ·检测电路和加速度计失调 | 第51-53页 |
| ·检测电路失调 | 第52页 |
| ·加速度计失调 | 第52-53页 |
| ·电容式加速度计噪声电荷 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-58页 |
| 第四章 检测电路设计 | 第58-86页 |
| ·检测电路系统设计 | 第58-62页 |
| ·电路结构 | 第58-59页 |
| ·斩波稳定 | 第59-60页 |
| ·总体结构设计 | 第60-62页 |
| ·调制电路与输入端偏置电路及数字控制电路设计 | 第62-65页 |
| ·差动差分放大器设计 | 第65-70页 |
| ·输入级设计 | 第65-66页 |
| ·主放大器设计 | 第66-68页 |
| ·直流失调补偿设计 | 第68-69页 |
| ·共模反馈设计 | 第69-70页 |
| ·偏置电路设计 | 第70页 |
| ·时钟振荡器设计 | 第70-73页 |
| ·系统仿真结果 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| ·附录系统仿真结果图 | 第77-86页 |
| 第五章 总结 | 第86-88页 |
| ·本文成果 | 第86-87页 |
| ·未来研究方向 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 研究成果 | 第94-95页 |