| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·SiC 的基本性质 | 第10-12页 |
| ·目前国内外SiC 光敏性质研究现状及所存在的问题 | 第12-13页 |
| ·本文的研究目的及内容 | 第13-14页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第14-21页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·SiC 晶体薄膜的制备 | 第14-15页 |
| ·研究思路 | 第15-16页 |
| ·实验材料与实验设备 | 第16-17页 |
| ·样品的制备 | 第17-18页 |
| ·样品的基本表征方法 | 第18-20页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第18页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第18-19页 |
| ·荧光光谱仪 | 第19页 |
| ·紫外-可见分光光度计 | 第19页 |
| ·霍尔效应测量 | 第19-20页 |
| ·X 射线光电子能谱 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 Mn 掺杂SiC 薄膜结构、形貌、电学与光学性质 | 第21-32页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·SiC 薄膜的结构和形貌 | 第21-23页 |
| ·Mn 掺杂SiC 薄膜结构与成分分析 | 第23-24页 |
| ·Mn 掺杂SiC 薄膜霍尔测量 | 第24-25页 |
| ·Mn 掺杂SiC 薄膜光致发光谱（PL）分析及紫外吸收谱 | 第25-27页 |
| ·Mn 掺杂SiC 薄膜光敏性质分析 | 第27-31页 |
| ·不同浓度Mn 掺杂对SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第28-29页 |
| ·不同退火温度对Mn 掺杂SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第29-30页 |
| ·不同光照频率对Mn 掺杂SiC 薄膜光敏效应的影响 | 第30页 |
| ·不同光照功率对Mn 掺杂SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 Co 掺杂SiC 薄膜结构、电学与光学性质 | 第32-39页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·Co 掺杂SiC 薄膜结构和成分分析 | 第32-33页 |
| ·Co 掺杂SiC 薄膜霍尔测量 | 第33-34页 |
| ·Co 掺杂SiC 薄膜PL 谱分析及紫外吸收谱 | 第34-36页 |
| ·Co 掺杂SiC 薄膜光敏性质 | 第36-38页 |
| ·不同浓度Co 掺杂对SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第36页 |
| ·不同退火温度对Co 掺杂SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第36-37页 |
| ·不同光照频率对Co 掺杂SiC 薄膜光敏效应的影响 | 第37-38页 |
| ·不同光照功率对Co 掺杂SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 Al 掺杂SiC 薄膜结构、形貌、电学与光学性质 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·Al 掺杂SiC 薄膜的结构、形貌及成分分析 | 第39-42页 |
| ·Al 掺杂SiC 薄膜霍尔测量 | 第42-43页 |
| ·Al 掺杂SiC 薄膜PL 谱分析及紫外发光谱 | 第43-45页 |
| ·Al 掺杂SiC 薄膜光敏性质 | 第45-49页 |
| ·不同浓度Al 掺杂对SiC 光敏性质的影响 | 第45-46页 |
| ·不同退火温度对Al 掺杂SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第46-47页 |
| ·不同光照频率对Al 掺杂SiC 薄膜光敏效应的影响 | 第47页 |
| ·同种掺杂浓度Mn、Co、Al 对SiC 薄膜光敏性质的影响 | 第47-48页 |
| ·不同光照频率对Mn、Co、Al 掺杂SiC 薄膜光敏效应的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 发表论文及科研情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
