摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
第一章 绪论 | 第8-14页 |
1.1 缓蚀剂研究概况 | 第8-9页 |
1.1.1 缓蚀剂研究历史回顾 | 第8-9页 |
1.1.2 我国缓蚀剂的研究 | 第9页 |
1.2 缓蚀剂的分类 | 第9-12页 |
1.2.1 按不同类型缓蚀剂的分类 | 第9-12页 |
1.3 缓蚀剂的作用机理 | 第12-14页 |
第二章 分子动力学模拟方法 | 第14-24页 |
2.1 引言 | 第14-15页 |
2.2 分子动力学原理 | 第15-16页 |
2.2.1 Born-Oppenheimer 近似 | 第15-16页 |
2.3 力场 | 第16-18页 |
2.3.1 力场的能量表示 | 第16页 |
2.3.2 常用力场 | 第16-18页 |
2.4 牛顿运动方程的数值解法 | 第18-19页 |
2.4.1 Verlet 算法 | 第18页 |
2.4.2 Verlet 蛙跳算法 | 第18-19页 |
2.4.3 Verlet velocity 算法 | 第19页 |
2.5 分子动力学模拟系综 | 第19-20页 |
2.5.1 微正则系综 | 第19-20页 |
2.5.2 正则系综 | 第20页 |
2.5.3 等温等压系综 | 第20页 |
2.5.4 等压等焓系综 | 第20页 |
2.6 边界条件 | 第20-22页 |
2.7 分子模拟软件 Materials Studio(MS)介绍 | 第22-24页 |
第三章 四种化学清洗缓蚀剂的选择及影响因素的分析 | 第24-32页 |
3.1 引言 | 第24页 |
3.1.1 分类 | 第24页 |
3.1.2 锅炉腐蚀的原因分析 | 第24页 |
3.1.3 化学清洗的全过程 | 第24页 |
3.2 盐酸 | 第24-26页 |
3.2.1 盐酸清洗的机理 | 第24-25页 |
3.2.2 盐酸清洗的特点及缓蚀剂使用条件 | 第25页 |
3.2.3 盐酸清洗工艺及应用实例 | 第25-26页 |
3.3 氢氟酸 | 第26-28页 |
3.3.1 氢氟酸清洗的机理 | 第26页 |
3.3.2 氢氟酸清洗的特点及缓蚀剂使用条件 | 第26-27页 |
3.3.3 氢氟酸清洗工艺及应用实例 | 第27-28页 |
3.4 柠檬酸 | 第28-29页 |
3.4.1 柠檬酸清洗的化学机理 | 第28页 |
3.4.2 柠檬酸清洗的特点及缓蚀剂使用条件 | 第28-29页 |
3.4.3 柠檬酸清洗工艺及应用实例 | 第29页 |
3.5 EDTA | 第29-31页 |
3.5.1 EDTA 清洗的机理和特点 | 第29-30页 |
3.5.2 EDTA 清洗工艺及应用实例 | 第30-31页 |
3.6 结论 | 第31-32页 |
第四章 几种常用盐酸清洗缓蚀剂的比较 | 第32-39页 |
4.1 引言 | 第32-33页 |
4.2 计算方法 | 第33-35页 |
4.3 结果分析 | 第35-38页 |
4.3.1 缓蚀剂分子与铁表面的相互作用 | 第35页 |
4.3.2 腐蚀介质粒子在缓蚀剂膜中的扩散系数 | 第35-37页 |
4.3.3 缓蚀剂膜的自由体积分数 | 第37-38页 |
4.4 结论 | 第38-39页 |
结论 | 第39-40页 |
参考文献 | 第40-44页 |
致谢 | 第44页 |