| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 字母注释表 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-16页 |
| 1.2 课题来源 | 第16页 |
| 1.3 课题理论基础及国内外研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.1 声表面波的基本介绍 | 第16-17页 |
| 1.3.2 课题国内外研究进展 | 第17-19页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章声表面波信号的激发与检测技术 | 第20-34页 |
| 2.1 激光声表面波激发机制 | 第20-21页 |
| 2.2 激光激发声表面波理论模型的力学基础 | 第21-24页 |
| 2.3 激光激发声表面波理论模型 | 第24-30页 |
| 2.3.1 热弹运动控制方程的建立 | 第24-26页 |
| 2.3.2 热弹运动控制方程的求解 | 第26-27页 |
| 2.3.3 边界条件和初始条件的建立与求解 | 第27-30页 |
| 2.4 声表面波信号的检测技术 | 第30-33页 |
| 2.4.1 非接触式检测方法 | 第30-32页 |
| 2.4.2 接触式检测方法 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 解析理论色散 | 第34-44页 |
| 3.1 解析理论色散的建立 | 第34-38页 |
| 3.2 激光声表面波基本性质推导 | 第38-41页 |
| 3.3 激光声表面波在单晶硅样品中传播的理论色散曲线 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 激光声表面波实验测试 | 第44-59页 |
| 4.1 激光声表面波平台实验测试原理 | 第44-45页 |
| 4.2 实验样品的制备 | 第45-47页 |
| 4.3 单晶硅样品实验测试 | 第47-51页 |
| 4.3.1 实验信号探测装置 | 第47-49页 |
| 4.3.2 声表面波实验信号的验证 | 第49-50页 |
| 4.3.3 激光源形状对声表面波信号幅值的影响 | 第50-51页 |
| 4.4 声表面波实验色散曲线 | 第51-58页 |
| 4.4.1 实验信号的处理 | 第51-55页 |
| 4.4.2 色散曲线的匹配 | 第55-56页 |
| 4.4.3 实验结果的验证 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 主要工作及结论 | 第59-60页 |
| 5.2 工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |