| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 概述 | 第11-12页 |
| 1.2 CIGS薄膜太阳能电池及其研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 CIGS薄膜太阳能电池的基本原理 | 第12页 |
| 1.2.2 CIGS薄膜太阳能电池结构 | 第12-17页 |
| 1.2.3 CIGS薄膜太阳能电池的研究现状 | 第17页 |
| 1.3 有序纳米结构的构筑方法 | 第17-21页 |
| 1.3.1 光刻技术 | 第17-19页 |
| 1.3.2 纳米压印技术 | 第19页 |
| 1.3.3 电子束刻蚀技术 | 第19页 |
| 1.3.4 胶体球刻蚀技术 | 第19-21页 |
| 1.4 有序纳米结构在器件中的应用 | 第21-22页 |
| 1.4.1 纳米结构增加界面面积及提高载流子传输效率 | 第21-22页 |
| 1.4.2 纳米阵列结构抗反射性能 | 第22页 |
| 1.5 目前存在的主要问题 | 第22-23页 |
| 1.6 论文的研究目的、思路及方法 | 第23-26页 |
| 1.6.1 论文研究目的及思路 | 第23-24页 |
| 1.6.2 论文主要研究内容 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-31页 |
| 第二章 Mo电极薄膜和Mo网格的制备及其在光伏器件中的应用 | 第31-50页 |
| 2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2 实验 | 第32-34页 |
| 2.2.1 试剂和仪器 | 第32页 |
| 2.2.2 实验过程 | 第32-34页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第34-46页 |
| 2.3.1 直流电源磁控溅射Mo薄膜及其结构性能分析 | 第34-43页 |
| 2.3.2 Mo薄膜在CIGS薄膜太阳能电池中的应用 | 第43-44页 |
| 2.3.3 构筑Mo网格结构及其在CIGS薄膜太阳能电池中的应用 | 第44-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 磁控溅射沉积AZO薄膜 | 第50-62页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 实验 | 第51-52页 |
| 3.2.1 试剂和仪器 | 第51-52页 |
| 3.2.2 实验过程 | 第52页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第52-59页 |
| 3.3.1 基底温度对AZO薄膜结构性能的影响 | 第52-53页 |
| 3.3.2 基底温度对AZO薄膜形貌演变过程的影响 | 第53-56页 |
| 3.3.3 基底温度对AZO薄膜光学和电学性能的影响 | 第56-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第四章 ZnO薄膜和纳米结构的制备及在CIGS器件中的应用 | 第62-79页 |
| 4.1 引言 | 第62-63页 |
| 4.2 实验 | 第63-66页 |
| 4.2.1 试剂和仪器 | 第63-64页 |
| 4.2.2 实验过程 | 第64-66页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第66-75页 |
| 4.3.1 溅射功率对ZnO薄膜性能的影响 | 第66-69页 |
| 4.3.2 溅射气压对ZnO薄膜透过率的影响 | 第69页 |
| 4.3.3 ZnO薄膜在CIGS薄膜太阳能电池中的应用 | 第69-71页 |
| 4.3.4 不同生长时间对ZnO空腔阵列结构形貌及结晶性的影响 | 第71-73页 |
| 4.3.5 不同周期ZnO空腔结构的形貌及光学性能 | 第73-74页 |
| 4.3.6 ZnO空腔结构在CIGS薄膜光伏器件中的应用 | 第74-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 工作总结 | 第79-81页 |
| 总结 | 第79-80页 |
| 存在的问题与展望 | 第80-81页 |
| 硕士期间发表和已完成的论文与工作 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
