| 摘要 | 第9-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 金属真空击穿 | 第13-14页 |
| 1.2 真空击穿规律的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.1 真空中的射频击穿规律 | 第14-15页 |
| 1.2.2 真空中的直流击穿规律 | 第15-17页 |
| 1.2.3 直流击穿与射频击穿的相似性 | 第17-19页 |
| 1.3 论文的研究意义和研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 金属真空击穿理论及机制 | 第21-33页 |
| 2.1 金属的爆炸电子发射理论 | 第21-23页 |
| 2.1.1 场致发射理论 | 第22页 |
| 2.1.2 场增强因子理论 | 第22-23页 |
| 2.2 晶须爆炸发射模型 | 第23页 |
| 2.3 Ecton模型 | 第23-29页 |
| 2.3.1 Ecton模型的过程 | 第23-25页 |
| 2.3.2 阴极的微观爆炸 | 第25-26页 |
| 2.3.3 真空火花与真空电弧 | 第26-29页 |
| 2.4 表面吸附气体模型 | 第29-30页 |
| 2.5 场致张力拉升模型 | 第30-32页 |
| 2.6 小结 | 第32-33页 |
| 第三章 真空击穿的粒子模拟 | 第33-39页 |
| 3.1 等离子体仿真软件简介 | 第33页 |
| 3.2 电极之间等离子体发展的物理图像 | 第33-35页 |
| 3.3 击穿的影响因素 | 第35-38页 |
| 3.3.1 真空度对等离子体发展的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.2 外加磁场对等离子体发展的影响 | 第37-38页 |
| 3.4 小结 | 第38-39页 |
| 第四章 实验方案设计 | 第39-50页 |
| 4.1 实验的总体设计 | 第39-40页 |
| 4.2 电极结构设计与表面处理 | 第40-44页 |
| 4.2.1 电极形状及结构设计 | 第40-42页 |
| 4.2.2 阴阳极间距与真空度的在线调节 | 第42-43页 |
| 4.2.3 相同条件下不同材料对比的实验设计 | 第43页 |
| 4.2.4 电极的表面处理 | 第43-44页 |
| 4.3 负载水电阻设计 | 第44-48页 |
| 4.3.1 水电阻的结构设计 | 第44-45页 |
| 4.3.2 负载水电阻的表面闪络 | 第45-46页 |
| 4.3.3 阻抗匹配 | 第46-48页 |
| 4.4 电学与光学诊断方案 | 第48-49页 |
| 4.5 小结 | 第49-50页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第50-66页 |
| 5.1 实验系统简介 | 第50页 |
| 5.2 典型实验结果 | 第50-53页 |
| 5.2.1 金属电极之间未产生等离子时的输出波形 | 第50-52页 |
| 5.2.2 电极击穿情况下的典型输出波形 | 第52-53页 |
| 5.3 不同材料的击穿阈值 | 第53-62页 |
| 5.3.1 铝电极的击穿阈值 | 第53-56页 |
| 5.3.2 不锈钢电极的击穿阈值 | 第56-58页 |
| 5.3.3 铜电极的击穿阈值 | 第58-61页 |
| 5.3.4 小结与分析 | 第61-62页 |
| 5.4 真空度对击穿阈值的影响 | 第62-64页 |
| 5.4.1 真空度在 3.6~4.6×10-2Pa范围内的击穿实验 | 第62页 |
| 5.4.2 真空度在 3.7~4.8×10-1Pa范围内的击穿实验 | 第62-63页 |
| 5.4.3 真空度在 2.3~2.5×100Pa范围内的击穿实验 | 第63-64页 |
| 5.4.4 真空度对击穿阈值影响的总结与分析 | 第64页 |
| 5.5 表面电化学处理对击穿的影响 | 第64-65页 |
| 5.6 小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 主要工作总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第74页 |
