| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 1 引言 | 第11-24页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·半导体设备用铝合金研究现状 | 第12-15页 |
| ·国外半导体设备用铝合金研究现状 | 第12页 |
| ·国内半导体设备用铝合金研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内外半导体设备用6061铝合金对比 | 第13-15页 |
| ·铝合金的阳极氧化 | 第15-17页 |
| ·铝合金的阳极氧化膜 | 第15页 |
| ·影响6xxx铝合金阳极氧化膜质量的因素 | 第15-17页 |
| ·铝合金的合金化及熔铸工艺 | 第17-20页 |
| ·合金元素对6xxx铝合金组织和性能的影响 | 第17-19页 |
| ·熔铸工艺对6xxx铝合金组织和性能的影响 | 第19-20页 |
| ·铝合金的均匀化处理工艺 | 第20-22页 |
| ·均匀化处理的作用 | 第20-21页 |
| ·铝合金铸锭均匀化处理工艺 | 第21-22页 |
| ·制定均匀化处理工艺的原则 | 第22页 |
| ·论文研究的目的和主要内容 | 第22-24页 |
| ·本论文研究的目的 | 第22-23页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第23-24页 |
| 2 实验材料及研究方法 | 第24-30页 |
| ·实验方案 | 第24-26页 |
| ·合金成分设计 | 第24-25页 |
| ·工艺流程及材料制备原料 | 第25-26页 |
| ·合金的制备 | 第26-27页 |
| ·熔铸及铸锭均匀化处理 | 第26-27页 |
| ·阳极氧化 | 第27页 |
| ·试验方法 | 第27-30页 |
| ·显微组织分析 | 第28页 |
| ·金相组织观察 | 第28页 |
| ·扫描电子显微镜及能谱分析 | 第28页 |
| ·透射电子显微镜及相结构标定 | 第28页 |
| ·DSC分析 | 第28页 |
| ·硬度测量 | 第28-29页 |
| ·阳极氧化膜厚度测量 | 第29页 |
| ·定量金相分析 | 第29-30页 |
| 3 高品质6061铝合金成分优化 | 第30-40页 |
| ·实验方法 | 第30-31页 |
| ·Mg/Si比对6061铝合金组织和性能的影响 | 第31-36页 |
| ·Mg/Si比对6061铝合金铸态显微组织的影响 | 第31-32页 |
| ·Mg/Si比对阳极氧化膜膜厚均匀性的影响 | 第32-33页 |
| ·Mg/Si比对阳极氧化膜硬度的影响 | 第33-35页 |
| ·Mg/Si比对阳极氧化膜致密性的影响 | 第35-36页 |
| ·Mn/Fe比对6061铝合金显微组织的影响 | 第36-39页 |
| ·Mn/Fe比对6061铝合金铸态组织结晶相的影响 | 第36-38页 |
| ·富铁相的形态控制 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 高品质6061铝合金熔铸工艺研究 | 第40-47页 |
| ·实验方法 | 第40页 |
| ·冷却速度对6061铝合金铸态组织的影响 | 第40-43页 |
| ·冷却速度对高Mn6061铝合金晶粒度的影响 | 第40-41页 |
| ·冷却速度对高Mn6061合金结晶相的影响 | 第41-43页 |
| ·电磁搅拌对6061铝合金铸态组织的影响 | 第43-46页 |
| ·电磁搅拌对6061铝合金铸态低倍组织的影响 | 第43-44页 |
| ·电磁搅拌对6061铝合金结晶相形态分布的影响 | 第44-45页 |
| ·电磁搅拌对6061铝合金宏观偏析的影响 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 高品质6061铝合金均匀化工艺研究 | 第47-63页 |
| ·铸态组织 | 第47-48页 |
| ·铝合金均匀化工艺的制定 | 第48-49页 |
| ·均匀化温度对第二相的影响 | 第49-51页 |
| ·均匀化时间对第二相的影响 | 第51-56页 |
| ·第二相在均匀化过程中尺寸的变化 | 第51-52页 |
| ·可溶第二相在均匀化过程中的变化 | 第52-54页 |
| ·难溶第二相在均匀化过程中的变化 | 第54-56页 |
| ·6061铝合金均匀化过程中相转变及机理 | 第56-60页 |
| ·高温均匀化工艺对第二相的影响 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 在学科研成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |