区域法触针扫描形貌测量仪电路系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外现状与发展趋势 | 第9-11页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第11-12页 |
| 1.4 课题来源 | 第12-13页 |
| 2 系统总体设计 | 第13-25页 |
| 2.1 仪器工作原理 | 第13-15页 |
| 2.2 电路总体方案 | 第15-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 光栅信号自适应调理电路系统 | 第25-35页 |
| 3.1 光栅信号计量原理 | 第25页 |
| 3.2 自适应调理电路 | 第25-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 迟滞比较电路及迟滞区间补偿算法 | 第35-45页 |
| 4.1 迟滞比较、电平转换电路 | 第35-39页 |
| 4.2 迟滞区间补偿算法 | 第39-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 同步运动控制和数据采集系统 | 第45-60页 |
| 5.1 运动控制电路设计 | 第45-51页 |
| 5.2 辨向计数、细分 | 第51-56页 |
| 5.3 数据实时存储电路 | 第56-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 电路系统软件设计 | 第60-72页 |
| 6.1 上位机驱动程序设计 | 第60-65页 |
| 6.2 下位机程序设计 | 第65-71页 |
| 6.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 7 电路系统搭建及应用实验 | 第72-79页 |
| 7.1 电路系统搭建 | 第72-73页 |
| 7.2 应用实验 | 第73-78页 |
| 7.3 本章小结 | 第78-79页 |
| 8 总结与展望 | 第79-81页 |
| 8.1 全文总结 | 第79-80页 |
| 8.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 附录I 攻读硕士期间发表的论文 | 第85页 |
