| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 压电陶瓷及其基本理论 | 第11-14页 |
| 1.1.1 压电效应 | 第11页 |
| 1.1.2 压电陶瓷的参数 | 第11-14页 |
| 1.2 压电陶瓷的改性 | 第14-17页 |
| 1.2.1 压电陶瓷的取代元素改性 | 第15页 |
| 1.2.2 压电陶瓷的添加剂改性 | 第15-17页 |
| 1.3 压电陶瓷的发展 | 第17-21页 |
| 1.3.1 压电陶瓷的发展历史 | 第17-20页 |
| 1.3.2 压电陶瓷的研究现状和发展趋势 | 第20-21页 |
| 1.4 压电陶瓷的应用 | 第21-23页 |
| 1.4.1 压电加速度传感器 | 第21页 |
| 1.4.2 压电陶瓷水声换能器 | 第21-22页 |
| 1.4.3 压电陶瓷变压器 | 第22页 |
| 1.4.4 压电陶瓷表面波器件 | 第22-23页 |
| 1.4.5 压电陶瓷电声器件 | 第23页 |
| 1.5 压电加速度传感器概述 | 第23-27页 |
| 1.5.1 压电加速度传感器工作原理 | 第23-24页 |
| 1.5.2 压电加速度传感器的灵敏度 | 第24-25页 |
| 1.5.3 压电加速度传感器的研究现状 | 第25-27页 |
| 1.6 选题背景与研究意义 | 第27-28页 |
| 1.7 课题研究内容 | 第28-29页 |
| 2 实验过程和测试 | 第29-34页 |
| 2.1 实验材料及设备 | 第29-30页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第29页 |
| 2.1.2 实验仪器和设备 | 第29-30页 |
| 2.2 制备工艺及过程 | 第30-32页 |
| 2.3 样品性能测试 | 第32-33页 |
| 2.3.1 压电常数测试 | 第32页 |
| 2.3.2 介电常数测试 | 第32-33页 |
| 2.3.3 介质损耗测试 | 第33页 |
| 2.3.4 物相组成分析 | 第33页 |
| 2.3.5 显微结构分析 | 第33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 PSN-PZT压电陶瓷的研究 | 第34-42页 |
| 3.1 XRD图谱分析 | 第34-35页 |
| 3.2 SEM照片分析 | 第35-37页 |
| 3.3 Ba、Sr掺杂量的确定 | 第37-38页 |
| 3.4 烧结温度的确定 | 第38-40页 |
| 3.5 材料使用温度 | 第40-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 PLZT+Nb_2O_5压电陶瓷的研究 | 第42-49页 |
| 4.1 XRD图谱分析 | 第42-43页 |
| 4.2 SEM照片分析 | 第43-44页 |
| 4.3 Zr/Ti比的确定 | 第44-45页 |
| 4.4 烧结温度的确定 | 第45-46页 |
| 4.5 材料使用温度 | 第46-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 压电加速度传感器的制作与测试 | 第49-60页 |
| 5.1 压电加速度传感器的制作 | 第49-50页 |
| 5.1.1 压电片及引线的制作 | 第49页 |
| 5.1.2 质量块的制作 | 第49页 |
| 5.1.3 传感器零件清洗 | 第49页 |
| 5.1.4 组装 | 第49-50页 |
| 5.2 压电加速度传感器的性能测试 | 第50-58页 |
| 5.2.1 传感器灵敏度和最大横向灵敏度比的测试步骤 | 第50-51页 |
| 5.2.2 传感器灵敏度的确定 | 第51页 |
| 5.2.3 传感器最大横向灵敏度比的确定 | 第51页 |
| 5.2.4 线性误差测试与计算 | 第51-53页 |
| 5.2.5 温度响应测试 | 第53-54页 |
| 5.2.6 湿度响应测试 | 第54-55页 |
| 5.2.7 重复性 | 第55-56页 |
| 5.2.8 迟滞特性 | 第56-57页 |
| 5.2.9 灵敏度长期稳定性 | 第57-58页 |
| 5.2.10 最大横向灵敏度比的长期稳定性 | 第58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-60页 |
| 6 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |