| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的提出 | 第9-11页 |
| 1.2 电润湿的研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 电润湿在光学领域的研究进展 | 第11-13页 |
| 1.2.2 数字微流控技术的仿真研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本文的研究内容及研究意义 | 第16-17页 |
| 第二章 介电润湿的理论基础 | 第17-25页 |
| 2.1 润湿现象与表面张力 | 第17-18页 |
| 2.2 介电润湿的理论基础 | 第18-22页 |
| 2.2.1 介电润湿效应 | 第18-19页 |
| 2.2.2 Young-Lippmann方程 | 第19-20页 |
| 2.2.3 介电润湿原理的电动力学解释 | 第20-22页 |
| 2.3 介电润湿研究中的问题 | 第22-23页 |
| 2.3.1 接触角饱和 | 第22页 |
| 2.3.2 介质层击穿 | 第22-23页 |
| 2.3.3 接触角滞后 | 第23页 |
| 2.4 介电润湿液滴驱动机理 | 第23-25页 |
| 第三章 基于电润湿原理的液体振镜的仿真 | 第25-41页 |
| 3.1 Comsol Multiphysics仿真软件简介 | 第25页 |
| 3.2 电润湿仿真结构 | 第25-33页 |
| 3.2.1 针—平面电极结构 | 第25-30页 |
| 3.2.2 平面电极结构 | 第30-33页 |
| 3.3 液体振镜的仿真 | 第33-40页 |
| 3.3.1 液滴振动的影响因素研究 | 第33-38页 |
| 3.3.2 振镜仿真参数的确立 | 第38页 |
| 3.3.3 谐振模式下液滴的振动研究 | 第38-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 液体振镜中光束偏转角变化的研究 | 第41-45页 |
| 4.1 Matlab软件简介 | 第41页 |
| 4.2 光束偏转角变化情况的模拟研究 | 第41-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 器件底板的制备和耐压测试 | 第45-57页 |
| 5.1 电极的设计及制备 | 第45-47页 |
| 5.1.1 电极的设计 | 第45页 |
| 5.1.2 电极的制备 | 第45-47页 |
| 5.2 疏水介质层的制备及耐压性检测 | 第47-55页 |
| 5.2.1 介质层的选择 | 第47页 |
| 5.2.2 SiO_2薄膜的制备 | 第47-52页 |
| 5.2.3 介质层薄膜的耐压测试 | 第52-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 本文总结 | 第57页 |
| 6.2 未来展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |