光学散射测量中的仪器测量条件配置优化方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-12页 |
| 1.2 光学散射测量技术研究现状及发展趋势 | 第12-15页 |
| 1.3 本文主要研究工作 | 第15-18页 |
| 2 光学散射测量中的纳米结构灵敏度特性分析 | 第18-36页 |
| 2.1 引言 | 第18-19页 |
| 2.2 光学散射测量典型仪器 | 第19-22页 |
| 2.3 光学散射测量理论算法 | 第22-30页 |
| 2.4 典型纳米结构的灵敏度变化特性分析 | 第30-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 基于局部灵敏度分析的测量条件配置优化方法 | 第36-51页 |
| 3.1 引言 | 第36-37页 |
| 3.2 基于局部灵敏度分析的测量条件配置优化 | 第37-42页 |
| 3.3 单个纳米结构的测量配置优化仿真分析 | 第42-45页 |
| 3.4 典型纳米结构的测量实验研究 | 第45-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 4 基于全局灵敏度分析的测量条件配置优化方法 | 第51-67页 |
| 4.1 引言 | 第51-52页 |
| 4.2 基于全局灵敏度分析的测量条件配置优化 | 第52-57页 |
| 4.3 批量纳米结构的测量配置优化仿真分析 | 第57-60页 |
| 4.4 典型纳米结构的测量实验研究 | 第60-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 基于线性相关分析的测量条件配置优化方法 | 第67-82页 |
| 5.1 引言 | 第67-68页 |
| 5.2 基于线性相关分析的测量条件配置优化 | 第68-71页 |
| 5.3 纳米结构测量配置优化的仿真分析 | 第71-76页 |
| 5.4 典型纳米结构的测量实验研究 | 第76-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 6 总结与展望 | 第82-85页 |
| 6.1 全文总结 | 第82-83页 |
| 6.2 研究展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 附录 攻读学位期间发表的学术论文 | 第95页 |
