低温等离子体的发射光谱诊断研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-12页 |
| 1.2 不同装置产生等离子体的诊断 | 第12-15页 |
| 1.3 等离子体的光学诊断 | 第15页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 低温等离子体的发射光谱 | 第17-30页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 发射光谱的基本概念 | 第17-19页 |
| 2.2.1 原子的发射光谱 | 第17-18页 |
| 2.2.2 等离子体的辐射和激发过程 | 第18-19页 |
| 2.3 同轴空心网格阴极放电 | 第19-21页 |
| 2.4 不同放电条件下氩低温等离子体的发射光谱 | 第21-28页 |
| 2.4.1 不同压强时的发射光谱 | 第22-26页 |
| 2.4.2 不同放电功率时的发射光谱 | 第26-28页 |
| 2.5 氦低温等离子体的发射光谱 | 第28-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 低温等离子体的激发温度诊断 | 第30-42页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 等离子体的温度和热平衡 | 第30-31页 |
| 3.2.1 表征等离子体的温度 | 第30-31页 |
| 3.2.2 等离子体的局部热力学平衡 | 第31页 |
| 3.3 等离子体激发温度的诊断方法 | 第31-34页 |
| 3.3.1 玻尔兹曼曲线法 | 第31-33页 |
| 3.3.2 费米狄拉克模型 | 第33-34页 |
| 3.4 不同放电功率时等离子体的激发温度诊断 | 第34-38页 |
| 3.5 不同气体压强时等离子体的激发温度诊断 | 第38-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 低温等离子体的电子密度诊断 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 等离子体光谱的辐射率 | 第42-44页 |
| 4.3 溴钨灯参照光源 | 第44-45页 |
| 4.4 连续谱的绝对强度法诊断等离子体的电子密度 | 第45-53页 |
| 4.5 连续谱的绝对强度法的评价 | 第53-55页 |
| 4.5.1 连续谱的绝对强度法的意义与优势 | 第53-54页 |
| 4.5.2 连续谱的绝对强度法的局限 | 第54-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及其它成果 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
