太阳能电池板表面形貌测量装置关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第10-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题的研究目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.3 太阳能电池板表面形貌测量方法的发展现状 | 第11-12页 |
| 1.4 论文的主要内容 | 第12-14页 |
| 2 太阳能电池板表面形貌测量仪工作原理及结构设计 | 第14-27页 |
| 2.1 垂直扫描白光干涉原理 | 第14-16页 |
| 2.1.1 干涉显微技术 | 第14-15页 |
| 2.1.2 白光干涉技术 | 第15页 |
| 2.1.3 相移干涉显微技术 | 第15-16页 |
| 2.1.4 垂直扫描白光干涉显微技术 | 第16页 |
| 2.2 表面形貌测量仪系统设计 | 第16-18页 |
| 2.2.1 表面形貌测量仪的结构组成 | 第16-17页 |
| 2.2.2 表面形貌测量仪的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.3 白光干涉垂直扫描系统机械结构设计 | 第18-25页 |
| 2.3.1 白光干涉显微及图像采集 | 第18-19页 |
| 2.3.2 垂直精进给与计量装置 | 第19-23页 |
| 2.3.3 主要器件选型 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 3 表面形貌测量仪控制系统硬件电路设计 | 第27-39页 |
| 3.1 表面形貌测量仪控制系统整体结构 | 第27-28页 |
| 3.2 白光干涉图样采集模块 | 第28-29页 |
| 3.3 垂直进给控制模块硬件电路 | 第29-38页 |
| 3.3.1 微处理器的选型 | 第30页 |
| 3.3.2 激光干涉调理电路 | 第30-37页 |
| 3.3.3 PWM压电陶瓷驱动电路 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 表面形貌测量仪控制系统软件设计 | 第39-48页 |
| 4.1 表面形貌测量仪控制系统软件设计思路 | 第39-41页 |
| 4.1.1 上位机软件 | 第39-40页 |
| 4.1.2 下位机软件设计 | 第40-41页 |
| 4.2 垂直位移计量模块 | 第41-44页 |
| 4.2.1 激光干涉条纹的计数 | 第41-42页 |
| 4.2.2 干涉条纹软件细分 | 第42-43页 |
| 4.2.3 垂直位移的标定 | 第43-44页 |
| 4.3 PWM输出 | 第44-45页 |
| 4.4 USB数据通信 | 第45-46页 |
| 4.5 测量仪操作流程 | 第46-47页 |
| 4.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 仪器精度验证实验 | 第48-53页 |
| 5.1 对标准单刻线样板的测量实验 | 第48-49页 |
| 5.2 对多晶硅板的测量实验 | 第49-52页 |
| 5.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 6 总结与展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 附录A 太阳能电池板表面形貌测量仪实物图 | 第59-60页 |
| 附录B 垂直扫描系统的粗定位机构 | 第60-61页 |
| 附录C 垂直扫描一维调节机构 | 第61-62页 |
| 附录D 精密气浮隔震光学平台 | 第62-63页 |
| 附录E 其他器件选型 | 第63-64页 |
| 附录F USB通信调试结果图片 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第66页 |
