AlN-FeGaB磁电复合材料的制备与性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 磁电材料简介 | 第9-10页 |
| 1.1.1 磁电材料的发展 | 第9页 |
| 1.1.2 磁电材料的分类 | 第9-10页 |
| 1.2 磁电效应 | 第10-13页 |
| 1.3 磁电复合材料的分类 | 第13-22页 |
| 1.3.1 块状磁电复合材料 | 第13-19页 |
| 1.3.2 块状磁电复合材料的应用 | 第19-20页 |
| 1.3.3 薄膜磁电复合材料 | 第20-21页 |
| 1.3.4 薄膜磁电复合材料的应用 | 第21-22页 |
| 1.4 选题目的与研究内容 | 第22-24页 |
| 2 实验材料的选择及制备 | 第24-29页 |
| 2.1 材料体系 | 第24-25页 |
| 2.2 材料的制备和表征 | 第25-29页 |
| 2.2.1 材料的制备 | 第25-28页 |
| 2.2.2 样品的表征 | 第28-29页 |
| 3 AlN薄膜的性能研究 | 第29-42页 |
| 3.1 各工艺参数对AlN薄膜性能的影响 | 第29-40页 |
| 3.1.1 衬底不同对AlN薄膜性能的影响 | 第31-32页 |
| 3.1.2 溅射功率对AlN薄膜性能的影响 | 第32-33页 |
| 3.1.3 氮氩体积比对AlN薄膜性能的影响 | 第33-36页 |
| 3.1.4 气氛压强对AlN薄膜性能的影响 | 第36-38页 |
| 3.1.5 衬底温度对AlN薄膜性能的影响 | 第38-40页 |
| 3.1.6 退火处理对AlN薄膜性能的影响 | 第40页 |
| 3.2 本章结论 | 第40-42页 |
| 4 FeGaB薄膜的性能研究 | 第42-47页 |
| 4.1 FeGa合金的性能研究 | 第42-43页 |
| 4.2 B含量对FeGaB薄膜的性能影响 | 第43-46页 |
| 4.3 本章结论 | 第46-47页 |
| 5 磁电传感器的研究与制备 | 第47-62页 |
| 5.1 磁电传感器的设计 | 第48-50页 |
| 5.2 磁电传感器的制备工艺 | 第50-60页 |
| 5.2.1 掩膜板的制备 | 第50-51页 |
| 5.2.2 匀胶机工艺参数的研究 | 第51页 |
| 5.2.3 光刻机工艺参数的研究 | 第51-53页 |
| 5.2.4 ICP刻蚀工艺参数的研究 | 第53-58页 |
| 5.2.5 制备磁电传感器的工艺流程 | 第58-60页 |
| 5.3 讨论 | 第60-61页 |
| 5.4 本章结论 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 附录 | 第72页 |
