纳米加工晶体铜中亚表层缺陷演变及力学性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题来源、背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 课题研究的背景 | 第8-9页 |
| 1.1.3 课题研究的目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 纳米加工分子动力学仿真研究现状 | 第9-16页 |
| 1.2.1 纳米加工表面形成机理的研究 | 第9-13页 |
| 1.2.2 材料结构与性能演变的研究 | 第13-16页 |
| 1.2.3 国内外研究现状的分析 | 第16页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 分子动力学仿真条件及分析方法 | 第18-26页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 分子动力学仿真运行基础 | 第18-21页 |
| 2.2.1 分子动力学仿真的实现原理 | 第18-19页 |
| 2.2.2 积分算法和仿真势函数的选择 | 第19-21页 |
| 2.2.3 仿真条件和系综的设置 | 第21页 |
| 2.3 分子动力学仿真结果处理 | 第21-25页 |
| 2.3.1 分子动力学处理软件 | 第21-22页 |
| 2.3.2 仿真结果对比分析方法 | 第22-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 单晶铜纳米切削仿真中亚表层缺陷演变机理 | 第26-40页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 单晶铜纳米切削仿真模型 | 第26-27页 |
| 3.3 单晶铜亚表层缺陷种类与特征 | 第27-29页 |
| 3.4 单晶铜亚表层缺陷演变过程分析 | 第29-36页 |
| 3.4.1 四面体堆垛层错演变 | 第29-31页 |
| 3.4.2 球形团簇演变 | 第31-33页 |
| 3.4.3 V形位错演变 | 第33-35页 |
| 3.4.4 位错环演变 | 第35-36页 |
| 3.5 刀具参数对亚表层缺陷特征的影响 | 第36-39页 |
| 3.5.1 晶体结构原子占比变化 | 第37-38页 |
| 3.5.2 工件内部位错密度变化 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 多晶铜纳米切削仿真中晶体结构变化规律 | 第40-54页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 多晶铜纳米切削仿真模型 | 第40-41页 |
| 4.3 多晶铜亚表层晶体结构演变分析 | 第41-48页 |
| 4.3.1 晶体结构与切削力的变化关系 | 第41-45页 |
| 4.3.2 亚表层位错与晶界演变 | 第45-46页 |
| 4.3.3 应力分布与变化 | 第46-48页 |
| 4.4 切削参数对亚表层结构影响 | 第48-53页 |
| 4.4.1 晶体结构原子占比变化 | 第49-50页 |
| 4.4.2 切削过程中位错密度变化 | 第50-52页 |
| 4.4.3 切削深度对位错密度的影响 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 晶体铜纳米压痕仿真与实验 | 第54-69页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 纳米压痕仿真与实验准备 | 第54-60页 |
| 5.2.1 晶体铜纳米压痕仿真模型 | 第55-57页 |
| 5.2.2 晶体铜纳米压痕实验过程 | 第57-60页 |
| 5.3 单晶铜纳米压痕仿真与实验结果对比 | 第60-65页 |
| 5.3.1 单晶铜纳米压痕再生成位错演变 | 第60-63页 |
| 5.3.2 亚表层缺陷与工件表面硬化 | 第63页 |
| 5.3.3 切削深度对单晶铜力学性能的影响 | 第63-65页 |
| 5.4 多晶铜纳米压痕仿真与实验结果对比 | 第65-68页 |
| 5.4.1 改变切深下多晶铜纳米压痕仿真 | 第65-66页 |
| 5.4.2 切削深度对多晶铜力学性能的影响 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
