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高填充因子小孔径仿生复眼结构的制备技术研究

致谢第4-5页
摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
1 绪论第10-24页
    1.1 生物复眼概述第10-13页
        1.1.1 视场角第10-11页
        1.1.2 小眼孔径第11-12页
        1.1.3 填充因子第12-13页
    1.2 仿生复眼第13-22页
        1.2.1 应用前景第13-15页
        1.2.2 制备方法第15-22页
    1.3 主要研究内容第22-23页
    1.4 论文章节安排第23-24页
2 小孔径微透镜阵列的制备第24-37页
    2.1 仿生复眼结构参数设计第24-26页
    2.2 光刻胶热熔法工作原理第26-28页
    2.3 制作工艺第28-33页
    2.4 实验结果分析第33-36页
    2.5 本章小结第36-37页
3 高填充因子微透镜阵列的制备第37-51页
    3.1 一种提高微透镜阵列填充因子、扩大可加工面形范围的方法第37-48页
        3.1.1 光刻胶热熔法缺陷分析第37-39页
        3.1.2 基本工艺流程第39-40页
        3.1.3 面形影响因素第40-42页
        3.1.4 实验验证分析第42-48页
    3.2 制作高填充因子小孔径微透镜阵列第48-50页
    3.3 本章小结第50-51页
4 拓扑映射法制备仿生复眼结构第51-65页
    4.1 实验原理第51-55页
        4.1.1 物理模型建立第51页
        4.1.2 薄膜形变分析第51-54页
        4.1.3 基本工艺流程第54-55页
    4.2 制作聚合物弹性薄膜第55-59页
        4.2.1 软刻蚀技术第55页
        4.2.2 材料选择第55-57页
        4.2.3 制作工艺第57-59页
    4.3 制作仿生复眼结构第59-62页
        4.3.1 实验系统搭建第59-60页
        4.3.2 材料选择第60-61页
        4.3.3 制作工艺第61-62页
    4.4 实验结果分析第62-64页
    4.5 本章小结第64-65页
5 总结与展望第65-67页
    5.1 总结第65页
    5.2 本文的主要创新点第65-66页
    5.3 展望第66-67页
参考文献第67-70页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第70页

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