| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 CVD法制备6.5%Si硅钢工艺概述 | 第12-14页 |
| 1.2.1 CVD法制备6.5%Si硅钢工艺原理概述 | 第12-13页 |
| 1.2.2 CVD法制备6.5%Si硅钢工艺路线概述 | 第13-14页 |
| 1.3 实验室CVD法制备6.5%Si硅钢研究成果 | 第14页 |
| 1.4 CVD法制备6.5%Si硅钢喷嘴研究现状 | 第14-16页 |
| 1.5 喷嘴流场数值模拟和结构优化研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5.1 喷嘴流场研究现状和Fluent软件介绍 | 第16-17页 |
| 1.5.2 喷嘴结构优化方法现状 | 第17页 |
| 1.6 响应面法原理和试验设计方法概述 | 第17-19页 |
| 1.6.1 响应面法原理概述 | 第17-18页 |
| 1.6.2 试验设计方法(DOE)概述 | 第18-19页 |
| 1.7 本文研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 喷嘴结构设计 | 第20-25页 |
| 2.1 CVD法制备6.5%Si硅钢实验研究 | 第20-22页 |
| 2.1.1 CVD法制备6.5%Si硅钢实验设备 | 第20-21页 |
| 2.1.2 实验室研究CVD法制备6.5%Si硅钢设备存在的问题 | 第21-22页 |
| 2.2 连续CVD制备6.5%Si喷嘴性能要求 | 第22-23页 |
| 2.2.1 气体流场要求 | 第22-23页 |
| 2.2.2 气体混合要求 | 第23页 |
| 2.2.3 气体温度要求 | 第23页 |
| 2.3 喷嘴结构设计 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 喷嘴流场仿真和实验研究 | 第25-48页 |
| 3.1 喷嘴物理模型和网格划分 | 第25-26页 |
| 3.1.1 几何模型 | 第25-26页 |
| 3.1.2 网格划分 | 第26页 |
| 3.2 喷嘴计算模型的确定 | 第26-27页 |
| 3.2.1 湍流模型的确定 | 第26-27页 |
| 3.2.2 输运模型的确定 | 第27页 |
| 3.3 喷嘴控制方程 | 第27-28页 |
| 3.4 喷嘴求解参数设置 | 第28-29页 |
| 3.4.1 边界条件设定 | 第29页 |
| 3.4.2 方程离散格式及求解方法 | 第29页 |
| 3.5 喷嘴流场仿真结果分析 | 第29-32页 |
| 3.5.1 喷嘴内外流场分布仿真结果分析 | 第29-31页 |
| 3.5.2 带钢表面速度场分布情况分析 | 第31-32页 |
| 3.6 仿真模型的分析和简化 | 第32-44页 |
| 3.6.1 喷嘴外流场影响因素分析 | 第32页 |
| 3.6.2 SiCl_4气体浓度对于带钢表面速度场分布的影响 | 第32-34页 |
| 3.6.3 气体流量对带钢表面速度场分布的影响 | 第34-36页 |
| 3.6.4 CVD反应温度对于带钢表面速度场分布的影响 | 第36-38页 |
| 3.6.5 带钢运动速度对表面速度场分布的影响 | 第38-41页 |
| 3.6.6 喷嘴出口与带钢表面距离对速度场分布的影响 | 第41-44页 |
| 3.7 实验验证 | 第44-46页 |
| 3.7.1 喷嘴实验装置设计 | 第44-45页 |
| 3.7.2 实验方法及步骤 | 第45-46页 |
| 3.7.3 实验结果与模拟结果对比分析 | 第46页 |
| 3.8 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 响应面方法喷嘴结构优化 | 第48-69页 |
| 4.1 响应面法结构优化分析过程设计 | 第48-49页 |
| 4.2 因子筛选分析 | 第49-52页 |
| 4.2.1 部分因子设计 | 第49-51页 |
| 4.2.2 全因子分析设计 | 第51-52页 |
| 4.3 显著因子单因子影响规律分析 | 第52-55页 |
| 4.4 最速上升法最优区域确定 | 第55-59页 |
| 4.4.1 最速下降法概述 | 第55-56页 |
| 4.4.2 全因子分析设计 | 第56-59页 |
| 4.5 响应面法设计 | 第59-64页 |
| 4.5.1 响应面设计方法 | 第59-60页 |
| 4.5.2 中心复合表面设计 | 第60-61页 |
| 4.5.3 响应面法分析结果 | 第61-64页 |
| 4.6 优化结构参数流场分析 | 第64-65页 |
| 4.7 优化后喷嘴结构高温试验 | 第65-68页 |
| 4.7.1 实验设备介绍 | 第65-66页 |
| 4.7.2 实验方法及步骤 | 第66-67页 |
| 4.7.3 实验结果分析 | 第67-68页 |
| 4.8 本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 研究总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 研究总结 | 第69-70页 |
| 5.2 研究展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第75页 |
