| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-12页 |
| ·洁净室的概述 | 第8-9页 |
| ·洁净室与多点测量系统 | 第9-10页 |
| ·国外现状和选题的意义 | 第10页 |
| ·本章小结 | 第10-12页 |
| 第二章 计数器光学部分 | 第12-18页 |
| ·计数器光学传感器 | 第12-13页 |
| ·光学原理 | 第13-14页 |
| ·光电元器件的选择 | 第14-17页 |
| ·激光二极管（光源） | 第14-15页 |
| ·光电二极管 | 第15-16页 |
| ·反射镜的选择 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 硬件电路设计 | 第18-28页 |
| ·硬件电路介绍 | 第18-24页 |
| ·激光驱动电路 | 第19-21页 |
| ·光电检测电路 | 第21-22页 |
| ·前置放大电路 | 第22-23页 |
| ·检测信号放大电路 | 第23-24页 |
| ·比较电路和计数电路 | 第24页 |
| ·S3C6410 概述 | 第24-25页 |
| ·数据存储电路 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第四章 软件系统 | 第28-45页 |
| ·软件系统简介 | 第28页 |
| ·搭建ADS 开发环境 | 第28-31页 |
| ·开发环境简介 | 第28-29页 |
| ·硬件开发环境的搭建 | 第29-30页 |
| ·软件开发环境的搭建 | 第30-31页 |
| ·WINDOWS CE 简介以及移植 | 第31-33页 |
| ·WINDOWS CE 简介 | 第31-32页 |
| ·WINDOWS CE 在 S3C6410 上的移植 | 第32-33页 |
| ·基于MFC 的应用程序 | 第33-44页 |
| ·UI 界面模块 | 第34-37页 |
| ·数据库部分 | 第37-40页 |
| ·数据采集模块 | 第40-43页 |
| ·数据分送模块 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 网络系统构建及测试 | 第45-47页 |
| ·网络系统构建 | 第45页 |
| ·测量方法及数据 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第六章 总结与展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |