硅基微环谐振器的设计制作及非线性应用
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 硅基光子学 | 第10-13页 |
| 1.2 硅基微环谐振器的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 硅基微环谐振器中的非线性效应 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容及创新点 | 第17-19页 |
| 2 微环谐振器的理论与模型 | 第19-36页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 微环谐振器的基础理论 | 第19-28页 |
| 2.3 微环谐振器的重要性能参数 | 第28-33页 |
| 2.4 微环谐振器的四波混频理论 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 硅基集成波导器件的材料及制备工艺 | 第36-75页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 硅基集成波导器件的材料 | 第36-40页 |
| 3.3 材料沉积 | 第40-48页 |
| 3.4 光刻工艺 | 第48-59页 |
| 3.5 刻蚀工艺 | 第59-74页 |
| 3.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 4 硅基微环谐振器的设计、制备与测试 | 第75-93页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 硅基微环谐振器的设计原理 | 第75-84页 |
| 4.3 硅基微环谐振器的测试系统 | 第84-86页 |
| 4.4 SOI微环谐振器的制备及测试 | 第86-91页 |
| 4.5 本章小结 | 第91-93页 |
| 5 用于光频梳激发的氮化硅微环谐振器的设计 | 第93-111页 |
| 5.1 引言 | 第93-95页 |
| 5.2 氮化硅微环的色散管理 | 第95-100页 |
| 5.3 微环谐振器临界耦合的设计 | 第100-104页 |
| 5.4 氮化硅波导-光纤的耦合方法 | 第104-110页 |
| 5.5 本章小结 | 第110-111页 |
| 6 用于光频梳激发的氮化硅微环谐振器的制备与测试 | 第111-121页 |
| 6.1 引言 | 第111页 |
| 6.2 氮化硅微环谐振器的制备 | 第111-117页 |
| 6.3 氮化硅微环谐振器的透射谱测试 | 第117-119页 |
| 6.4 氮化硅微环谐振器的光频梳激发测试 | 第119-120页 |
| 6.5 本章小结 | 第120-121页 |
| 7 总结与展望 | 第121-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-142页 |
| 附录 攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第142页 |
