| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-31页 |
| 1.1 引言 | 第10-15页 |
| 1.2 SiC的材料特性 | 第15-18页 |
| 1.3 雪崩光电探测器的工作原理 | 第18-19页 |
| 1.4 雪崩光电探测器的主要性能参数 | 第19-22页 |
| 1.5 4H-SiC紫外雪崩光电探测器的研究现状 | 第22-24页 |
| 1.6 本论文的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-31页 |
| 第二章 基于部分槽隔离结构的4H-SiC紫外单光子雪崩光电探测器 | 第31-53页 |
| 2.1 研究背景 | 第31-32页 |
| 2.2 器件的数值模拟 | 第32-35页 |
| 2.3 器件的版图设计 | 第35-36页 |
| 2.4 器件的制备工艺 | 第36-39页 |
| 2.5 器件的测试表征 | 第39-45页 |
| 2.6 多种不同尺寸器件的制备及性能 | 第45-49页 |
| 2.7 本章小结 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第三章 4H-SiC紫外单光子雪崩光电探测器线性阵列 | 第53-68页 |
| 3.1 研究背景 | 第53-54页 |
| 3.2 实验设计及版图绘制 | 第54-56页 |
| 3.3 线性阵列器件的制备 | 第56-58页 |
| 3.4 性能测试及分析 | 第58-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 第四章 结论与展望 | 第68-72页 |
| 4.1 主要结论 | 第68-69页 |
| 4.2 研究展望 | 第69-72页 |
| 发表论文目录 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |