太赫兹波超材料激光诱导化学镀制备技术研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 1 绪论 | 第14-28页 |
| ·研究背景及意义 | 第14-15页 |
| ·微加工技术研究进展 | 第15-18页 |
| ·传统光刻技术 | 第15-16页 |
| ·光刻技术研究进展 | 第16-18页 |
| ·激光直写技术 | 第18-22页 |
| ·激光直写技术原理 | 第18-20页 |
| ·激光直写技术国内外发展现状 | 第20-21页 |
| ·激光诱导化学镀 | 第21-22页 |
| ·太赫兹波超材料研究进展 | 第22-26页 |
| ·太赫兹波偏振器 | 第22-24页 |
| ·类电磁诱导透明（EIT）谐振器 | 第24-26页 |
| ·论文章节安排 | 第26-28页 |
| 2 激光诱导化学镀制备技术研究 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·激光诱导化学镀介绍 | 第28-29页 |
| ·表面处理 | 第29-30页 |
| ·表面处理目的和意义 | 第29-30页 |
| ·低温等离子体技术 | 第30页 |
| ·匀胶 | 第30-35页 |
| ·匀胶机工作原理 | 第31-32页 |
| ·匀胶步骤 | 第32-34页 |
| ·匀胶结果分析 | 第34-35页 |
| ·激光曝光系统 | 第35-36页 |
| ·化学镀铜 | 第36-37页 |
| ·化学镀铜原理 | 第36-37页 |
| ·化学镀铜配方与实验步骤 | 第37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 3 激光直写系统改善 | 第38-49页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·激光直写参数的选择 | 第39-43页 |
| ·激光扫描速度对金属线影响 | 第39-40页 |
| ·激光功率对金属线影响 | 第40-41页 |
| ·激光离焦量对金属线影响 | 第41-43页 |
| ·自动对焦的实现 | 第43-45页 |
| ·自动对焦系统设计 | 第43-44页 |
| ·确定焦点差实验 | 第44-45页 |
| ·双层加工工艺的实现 | 第45-48页 |
| ·双层加工系统设计 | 第45-46页 |
| ·双层加工精度对准实验 | 第46-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 4 类电磁诱导透明（EIT）太赫兹波谐振器研究 | 第49-56页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·类EIT谐振器设计与仿真分析 | 第49-54页 |
| ·谐振器结构设计 | 第49-50页 |
| ·DR谐振器仿真分析 | 第50-51页 |
| ·DR谐振器性能分析与应用 | 第51-54页 |
| ·类EIT谐振器样品制备与性能测试 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 5 双层金属线栅结构的太赫兹波偏振器研究 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·双层线栅偏振器仿真设计 | 第57-63页 |
| ·BWGP结构设计 | 第57页 |
| ·SWGP和BWGP的比较 | 第57-59页 |
| ·基底厚度对BWGP偏振性能的影响 | 第59-60页 |
| ·金属厚度对BWGP偏振性能的影响 | 第60-61页 |
| ·基底损耗对BWGP偏振性能的影响 | 第61-62页 |
| ·偏移量s对BWGP偏振性能的影响 | 第62-63页 |
| ·BWGP的制备与性能测试 | 第63-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·总结 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |
