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掺杂复合氧化物薄膜的阻变特性及器件应用

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
1 绪论第10-21页
   ·概述第10-11页
   ·RRAM器件的基本工作原理第11-17页
     ·RRAM的阻变行为第12-14页
     ·RRAM的阻变机理第14-16页
     ·RRAM器件参数第16-17页
   ·RRAM器件的研究现状第17-20页
     ·RRAM的串扰问题第17-18页
     ·RRAM的非线性阻变行为第18-20页
   ·本论文的立意及研究内容第20-21页
2 实验方法与测试第21-28页
   ·Sol-gel法制备薄膜原理第21-22页
   ·RRAM样品的制备工艺流程第22-24页
   ·制膜过程中所用的实验试剂与仪器第24-25页
     ·实验试剂第24-25页
     ·实验仪器第25页
   ·测试手段第25-28页
     ·热重-差热分析第25-26页
     ·X-射线衍射分析第26页
     ·原子力显微镜分析第26页
     ·场发射扫描电子显微镜分析第26-27页
     ·X光电子能谱分析第27页
     ·电学性能测试第27-28页
3 Co掺杂BaTiO_3薄膜的制备与阻变行为研究第28-41页
   ·Co掺杂BaTiO_3薄膜的制备第28-30页
     ·前驱体的合成第28-29页
     ·BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3薄膜的结构性能表征第29-30页
   ·Au/BaTi_(1-x)Co_xO_3/Pt器件阻变行为研究第30-39页
     ·Au/BaTiO_3/Pt的阻变行为分析第30-31页
     ·非晶BaTiO_3薄膜的阻变行为第31-32页
     ·Co掺杂浓度对BaTiO_3薄膜阻变行为的影响第32-34页
     ·Au/Co:BaTiO_3/Pt的阻变机制第34-37页
     ·偏压对薄膜阻变行为的影响第37页
     ·限制电流对薄膜阻变行为的影响第37-38页
     ·上电极面积大小对薄膜阻变行为的影响第38-39页
   ·本章小结第39-41页
4 互补型阻变行为(CRS)研究第41-53页
   ·BaTiO_3/Co:BaTiO_3/BaTiO_3多层膜的阻变行为研究第41-47页
     ·Au/BaTiO_3/Co:BaTiO_3/BaTiO_3/Pt的BRS阻变行为第41-44页
     ·Au/BaTiO_3/Co:BaTiO_3/BaTiO_3/Pt的CRS特性第44-46页
     ·膜厚对BaTiO_3/Co:BaTiO_3/BaTiO_3/阻变行为的影响第46-47页
   ·BaTiO_3/NiO双层膜的阻变行为研究第47-52页
     ·NiO单层膜的URS行为第47-48页
     ·BaTiO_3/NiO双层膜的URS和CRS行为第48-51页
     ·BaTiO_3/NiO双层膜的阻变机理第51-52页
   ·本章小结第52-53页
5 双极型非线性阻变行为的研究第53-60页
   ·Al/Co:BaTiO_3/Pt的阻变行为研究第53-55页
   ·Al/Co:BaTiO_3/BaTiO_3/Pt的阻变行为第55-59页
     ·Al/Co:BaTiO_3/BaTiO_3/Pt的双极型非线性阻变行为第55-57页
     ·Al/BaTiO_3/Co:BaTiO_3/Pt的阻变机理第57-59页
   ·本章小结第59-60页
结论第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-67页
在读期间已发表和待发表的论文第67页

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